फैब फ्लोर पर, एक 0.2°C का ड्रिफ्ट सॉफ्ट बेक को पूरी तरह से नष्ट कर सकता है। आप फोटोरेसिस्ट को किनारे पर पतला होते हुए, महत्वपूर्ण आयामों को फैलते हुए...

On the lithography floor, soft bake and hard bake सिर्फ तापीय चरण नहीं हैं—वे एक्सपोजर को निर्धारित करते हैं। वेफ़र पर 2°C की डिफ्ट नैनोमीटर स्तर पर...