בחדרי הליתוגרפיה, האחידות בטמפרטורה של PEB לאורך כל הוואף היא זו שקובעת את איכות התהליך. שינוי של כמה עשיריות מעלה בלבד יכול לפגוע בתהליך ההגדלה...

על רצפת המפעל, סטייה של 0.2°C בתהליך האפייה הרכה יכולה לגרום לבזבוז רב. אתה רואה את הפוטורזיסט מת thinning בקצה, מידות קריטיות מתפשטות, ויכולת...