בחדרי הליתוגרפיה, האחידות בטמפרטורה של PEB לאורך כל הוואף היא זו שקובעת את איכות התהליך. שינוי של כמה עשיריות מעלה בלבד יכול לפגוע בתהליך ההגדלה הכימי של הפוטורזיסט, לשנות את המתחים החשמליים, ולגרום לשינויים ברמת האטום של החומר – וזה משמעו שאורך הזמן הנדרש לתהליך החשיפה והמדידה עולה בצורה מיותרת.
מה חשוב מבחינה טכנית אנו יוצרים את מערכת החימום של PEB כך שהטמפרטורה תהיה אחידה ברמה של ±0.1°C לאורך כל הוואף. טמפרטורת החימום של הפוטורזיסט נשמרת בדיוק ברמה הרצויה לאורך כל תהליך החימום. המערכת מאפשרת חימום רגוע וחימום אינטנסיבי, עם שינויי טמפרטורה קבועים – כך שאין צורך להתמודד עם שינויים בטמפרטורה בין שלבי הייצור השונים.
גופי פליטה מסוג קוורץ-הלוגן מספקים תגובה מהירה ואמינה, והגאומטריה של אזור החימום מותאמת כך שהאיזון בין הקצוות יהיה אחיד. בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, אנו משתמשים בחומרים עם פליטה נמוכה, ומעוצבים את המערכת כך שלא ייווצרו חלקיקים במהלך הפעולה הרגילה – כך שמספר החלקיקים נשאר בגבולות המותרים, ללא צורך בסינון נוסף.
המערכת מיועדת לפעול 24/7 במפעלים עם מספר שעות עבודה גדול, ללא זמני עצירה בלתי מתוכננים. פרופיל האנרגיה של המערכת מנוהל כך שעלות הייצור לכל ואף תהיה יציבה.
למה המערכת עובדת טוב במפעלים אמיתיים יש צורך במערכת שתפעל באותו אופן בשעה 3 בבוקר כמו בשעה 3 אחר הצהריים, ללא קשר לשלבי הייצור השונים ולגודל הוואף. מערכת החימום של PEB מאפשרת שליטה טובה בתהליך החימום לאחר החשיפה, כך שאיכות התהליך נשארת ברמה הרצויה. התוצאה היא פחות צורך בתיקונים, חלוקה טובה יותר של החומרים, וזמן עבודה צפוי.
מה צריך לדעת מראש ההתקנה של המערכת תלויה באינטגרציה טובה עם מערכות החימום והאוורור של המפעל. יש צורך לבצע התאמות קצרות לפני ההתקנה. לאחר שההתאמות נעשו, החזרתיות של המערכת פוחתת – אך ההתאמות הראשוניות אינן אופציונליות.