Hören Sie auf, Energie in Ihren Wafer-Werkzeugen zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Die Verschwendung von Energie in Halbleiterwerkzeugen ist einfach schlecht durchdacht. Wenn man hochleistungsstarke Heizelemente verwendet, geht ein großer Teil dieser Energie verloren – sie entweicht in das Gehäuse des Werkzeugs oder prallt von dem Zielobjekt ab, ohne irgendeinen Nutzen für den Prozess zu haben.
Wir lösen dieses Problem mit goldbeschichteten Reflektoren. Das klingt zwar fancy, aber das Ziel ist einfach: Die Infrarotstrahlen sollen direkt auf den Wafer gelenkt werden.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Standard-Quarz- oder Keramikreflektoren – doch diese lassen zu viel Wärme in das Gehäuse des Werkzeugs entweichen. Wir nutzen eine dünne Schicht aus hochreinem Gold, denn dieses Material ist hervorragend darin, Infrarotlicht zu reflektieren. Dadurch wird die Energie nicht vom Gehäuse aufgenommen, sondern die Photonen kehren direkt dorthin zurück, wo sie hingehören. So erhält der Wafer eine höhere Temperatur – ohne dass man die Spannung erhöhen oder das System belasten muss.
Es geht um die Effizienz
Hohe Leistung ist zwar gut – doch sie ist nutzlos, wenn sie nicht effizient genutzt wird. Wir passen die Form des Goldreflektors an, um die Wärmezone zu verkleinern. Dadurch wird erstens die gewünschte Prozesstemperatur schneller erreicht. Zweitens werden unerwünschte „heiße Punkte“ vermieden, die dazu führen könnten, dass ganze Chargen von Wafers beschädigt werden. Alles wirkt somit stabiler.
Der Nachteil
Gold ist allerdings nicht unzerstörbar. Es ist empfindlich. Man darf es nicht mit abrasiven Reinigungsmitteln reinigen oder es darf nicht beschädigt werden. Wenn die Beschichtung abblättert oder kontaminiert wird, sinkt die Reflexionsfähigkeit – dadurch nehmen die Prozesszeiten zu. Um sicherzustellen, dass der Reflektor weiterhin funktioniert, muss man auf die Vakuum- oder Inertgasumgebung achten. Wenn man eine Produktionslinie mit hoher Geschwindigkeit betreibt, sollte man regelmäßig die Reflektoren überprüfen. Es ist viel einfacher, eine schnelle Überprüfung durchzuführen, als herauszufinden, warum die thermischen Profile während des Prozesses beeinträchtigt werden.