Auf der 300-mm-Linie führt eine dünne Wasserfilm-Schicht, die nach der Reinigung zurückbleibt, dazu, dass die Erträge sinken. Restfeuchtigkeit stört das Profil des Fotoleitmittels – außerdem führt eine ungleichmäßige Trocknung dazu, dass sich Partikel bilden können.
Um dieses Problem zu lösen, haben wir ein Infrarot-Trocknungsmodul entwickelt, das statt breitstrahlender Hitze kontrollierte, lokalisierte Energie nutzt, um das Wafer trockenzuhalten, ohne den Film zu belasten. Das Modul arbeitet mit kurzwelligen Infrarotemitttern, die in eigenständig steuerbaren Zonen angeordnet sind. Jede Zone gewährleistet eine Homogenität der Temperatur auf der Oberfläche des Wafer von ±0,1 °C – dadurch bleibt das thermische Gleichgewicht erhalten und die Ergebnisse sind wiederholbar.
Die Quarzoberfläche sowie der geschlossene Gehäuseaufbau sorgen dafür, dass keine Partikel entstehen – dadurch gelten die Klassifizierungen für Saalklassen 1–100. Die Leistung pro Zone liegt zwischen 200 W und 1,2 kW. Das Modul ist außerdem für einen 24/7-Betrieb konzipiert, ohne unplanmäßige Ausfälle.
Die Temperaturregelung passt sich den Anforderungen der Fotoleitmittel-Trocknungsprozesse an – dadurch wird eine konstante Trocknungsleistung gewährleistet, ohne Überschreitungen der Grenzwerte.
In der Praxis bedeutet das weniger Reparaturarbeiten und eine bessere Kontrolle der kritischen Dimensionen. Man kann die Durchsatzrate erhöhen, ohne aufgrund von Mängeln nacharbeiten zu müssen. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, da die Wärme nur dort angewendet wird, wo sie benötigt wird.
Für die Trocknung nach der Reinigung sowie für die Verarbeitung des Fotoleitmittels hält das Modul das Wafer trocken, das Profil des Fotoleitmittels bleibt intakt – und die Produktionslinie kann weiterhin effizient arbeiten.
Die Installation ist einfach – doch die richtige Ausrichtung des Moduls ist entscheidend. Das Modul muss so positioniert werden, dass es zur Bahn des Wafer sowie zur Geometrie des Abluftsystems passt – sonst entsteht wieder Feuchtigkeit.
Das Modul kann mit Standardanschlüssen integriert werden – doch man benötigt einen separaten Kühlweg, um die Temperatur der Emittoren stabil zu halten. Wenn man darauf achtet, liefert das Modul immer wieder konstante Ergebnisse.