Richtiges Trocknen von MEMS-Wafern mit Infrarottechnologie
Wenn Sie eine moderne Fertigungsanlage betreiben, kennen Sie die Herausforderungen: Alles dreht sich um Daten und Geschwindigkeit. Doch bei der Trocknung von MEMS-Sensorwafern reichen die herkömmlichen Konvektionsmethoden nicht mehr aus. Deshalb haben wir auf Infrarotsysteme umgestellt. Es handelt sich dabei um eine effektivere und intelligente Methode, um Feuchtigkeit zu entfernen – ohne dass dabei die empfindlichen Mikrostrukturen beschädigt werden.
Die Vorzüge der Infrarotwärme
Kurzwelliges Infrarot heizt nicht unnötig die Luft im Raum auf. Stattdessen wirkt es direkt auf die Wassermoleküle auf der Waferoberfläche. Dadurch wird die Trocknungszeit erheblich verkürzt. Zudem bleibt die Trocknungsstation kühler – man spart somit Energie.
Intelligente Steuerung
Eine Fertigungsanlage ist nur so gut wie ihre Daten. Wir entwickeln solche Heizsysteme, damit sie direkt mit den Steuerungen der Anlage kommunizieren können. Dadurch kann das System genau kontrolliert werden – man muss sich keine Sorgen machen, dass die Temperatur zu hoch wird. Niemand möchte mit verdrehten Wafern oder beschädigten Membranen konfrontiert werden.
Die Herausforderungen
Es gibt jedoch auch Nachteile: Hochleistungs-Infrarotquellen erzeugen eine enorme Menge an Wärme. Wenn man all diese Leistung in ein kleines Gehäuse steckt, ohne einen guten Luftstrom zu ermöglichen, kann das zu Schäden an der Elektronik führen. Es gibt also ein Gleichgewicht zu finden: Man möchte zwar hocheffiziente Heizelemente haben, aber gleichzeitig braucht man aktive Kühlsysteme, damit die Steuerboards nicht überhitzen.
Warum sollte man wechseln?
Herkömmliche Heizungen sind langsam und reagieren nur sehr schleppend. Infrarot hingegen funktioniert fast sofort. Da es mit einem digitalen Controller verbunden ist, kann man die Heizkurven jederzeit anpassen. Egal ob es um unterschiedliche Wafernstärken oder ungewöhnliche Sensorformen geht – man kann einfach die Einstellungen anpassen und weitermachen. So werden die Einschränkungen, die herkömmliche Trocknungsverfahren mit sich bringen, beseitigt.