曝光后烘烤加热器

在光刻生产中，决定CD控制精度和图形对准效果的关键因素，其实是晶圆表面的PEB温度均匀性。哪怕只有几十分之一的度数偏差，都会影响光刻胶的化学放大效果、改变偏压值，进而影响蚀刻的选择性。这样一来，原本需要数小时才能完成的曝光和测量工作就白费了。 从技术层面来看，什么才是重要的？ 我们设计的PEB加热...