
别再浪费时间在无效的加热方式上了:为什么红外灯和镀金反射器能真正发挥作用
如果你仍然依赖热空气循环来进行半导体加工,那其实就是在等待空气来完成这项工作。而使用带有镀金反射器的红外灯则完全改变了这一状况。这样一来,你就不再依赖对流作用,而是利用辐射能来加热部件。
用通俗的话来说,就是可以消除生产过程中的等待时间。
其原理其实很简单。
热空气的传导速度很慢,它需要通过介质才能将热量传递到部件上。而红外灯则无需经过这样的过程——它们直接将电磁波发射到目标物体上。
我们选择镀金反射器,是因为黄金具有出色的反射红外光的能力。虽然铝也能起到一定的反射作用,但黄金的效果更好。它能防止热量泄漏到机器外壳中,确保热量直接作用于晶圆或基板上。
为什么要用黄金呢?
普通的反射器会浪费能量。而镀金反射器则能集中热量,让所需位置的温度迅速上升。
升温速度非常快。
对于大量生产的场景来说,即使每个加热周期只需节省30秒,看起来也没什么意义。但要是计算一整个班次的时间,那可就是数小时的额外生产时间了。
不过,这并不是魔法。
使用时还需要小心处理。高密度的红外热能相当强大。如果PID控制器和热电偶的设置不当,就可能导致温度过高。另外,如果材料的导热性不好,那么在核心部分还没加热之前,表面就已经被烧坏了。因此,需要调整灯泡与部件之间的距离,以获得合适的温度。
如何将其集成到现有系统中?
最棒的是,红外系统体积很小,不需要那些笨重的鼓风机和复杂的管道系统。通常可以直接将其放入现有的处理舱中,无需额外调整。
不过需要注意的是,要确保电源能够承受红外灯启动时的巨大电流负荷。