İşlem sırasında termal bütçe bir öneri değil; aşılamayacak bir sınırdır. Fotoresistin pişirilmesindeki en küçük bir hata bile CD’nin düzgünlüğünü bozar. Wafer’in kurutulması sırasında ortaya çıkan en ufak bir soğuk nokta bile tekrar sorunlara yol açar. Biz de bu gerçekleri göz önünde bulundurarak, işlemin gerektirdiği yerlere tam olarak istenen miktarda ısı sağlayan bir infrared lamba geliştirdik.
Önemli olan detaylar
Kuvars modül içinde çalışan kısa dalga boylu NIR cihazları sayesinde tepki hızlı olur ve yüzey aşırı ısınmaz. Bağlantı bölgesindeki sıcaklık düzenliliği ±0,1°C civarında kalır ve üretimden üretime tekrarlanabilirlik yüksek seviyede tutulur. Bu cihaz temiz oda koşullarına uygundur; Class 1–100 standartlarına uyumludur ve parça saçmaz. 24/7 kullanıma uygundur; saha kullanımında 5.000 saatten fazla çalıştığı halde verimlilik kaybı %5’in altındadır.
Neden bizim işimiz için uygundur?
Wafer’in kurutulması ve temizlenmesi sırasında bu lamba nemleri hızla giderirken yüzeyin aşırı ısınmasını engeller. Fotoresist üzerinde ise sabit bir şekilde ısı uygular; böylece katmanların düzgünlüğü korunur. Paketleme sürecinde ise kaplamaları ve yapıştırıcıları düzenli bir şekilde sertleştirir; bu da daha az yeniden işlem gerektirir. Ayrıca ısı, oda içine yayılmak yerine gerektiğinde uygulandığı için enerji tüketimi azalır.
Dikkat edilmesi gereken pratik detaylar
Kurulum için özel bir güç kaynağı ve odak mesafesinin doğru tutulmasını sağlayacak düzgün bir montaj gereklidir. Lamba, düz ve yansıtıcı yüzeyler üzerinde en iyi performansı gösterir; eğer yüzey pürüzlü veya yüksek emiciliğe sahipse, küçük bir güç ayarı yapılmalıdır. Ürünümüzde hızlı bağlantı sistemleri ve yoğunluğu ve süreyi dakikalar içinde ayarlama imkanı sunan bir kalibrasyon sistemi bulunmaktadır. Böylece tekrarlanabilirlik sağlanır ve denetimler için hazır hale gelir.