Wafer araçlarınızdaki ısı kaybını durdurun
Dürüst olalım: Bir yarı iletken aracında enerji israf etmek, kötü bir tasarımdır. Yüksek güçlü ısıtma elemanları kullanıldığında, bu enerjinin büyük bir kısmı boşa gider. Bu enerji ya aracın gövdesine sızar ya da hedeften geri seker ve işlem için hiçbir fayda sağlamaz.
Bunu altın kaplı yansıtıcılarla çözüyoruz. Kulağa sofistike geliyor olabilir, ancak amacımız basit: Kızılötesi ışınları yakalayıp doğrudan wafer üzerine yönlendirmektir.
Neden altın?
Çoğu kişi standart kuvars veya seramik yansıtıcılar kullanır; ancak bunlar çok fazla ısının aracın gövdesine sızmasına neden olur. Biz ise yüksek saflıkta altın tabakası kullanıyoruz; çünkü altın kızılötesi ışınları yansıtmada mükemmeldir.
Enerji, aracın gövdesi tarafından emilmek yerine, fotonlar tekrar orijinal konumlarına geri döner. Böylece voltajı artırmaya veya sistemi zorlamaya gerek kalmadan daha sıcak bir wafer elde edilir.
Önemli olan şey alanı kontrol etmektir
Yüksek güç harika olsa da, eğer kontrolsüzse işe yaramaz. Altın yansıtıcının şeklini ayarlayarak ısıyı daha iyi kontrol edebiliriz. Bu sayede iki avantaj sağlanır: Birincisi, işlem sıcaklığına çok daha hızlı ulaşılır. İkincisi ise her şey daha düzenli hale gelir. Artık tüm waferleri mahvedebilecek rahatsız edici “sıcak noktalar” olmaz. Sistem daha stabil çalışır.
Ancak bir dezavantajı var…
Altın da mükemmel değildir. Hassastır. Onu aşındırıcı temizleyicilerle temizleyemezsiniz veya çizilmelerine izin veremezsiniz. Eğer kaplama soyulursa veya kirlenirse, yansıtma yeteneği düşer ve işlem süreleri uzar.
İşlevini sürdürebilmek için vakum veya inert gaz ortamına dikkat etmek gerekir. Eğer yüksek kapasiteli bir üretim hattı kullanıyorsanız, yansıtıcıları düzenli olarak kontrol etmeyi alışkanlık haline getirin. İşlem sırasında termal profillerin neden değiştiğini anlamaktan çok daha kolaydır.