Отказ от использования горячего воздуха в пользу инфракрасного излучения в процессе полупроводниковой обработки
Давайте поговорим о проблемах, связанных с использованием горячего воздуха. Его использование медленно. Когда вы используете горячий воздух для передачи тепла на поверхность полупроводникового кристалла, фактически вы создаете дополнительный элемент, который не выполняет особой функции. В процессах глубокой обработки такая задержка становится серьезной проблемой – она создает «узкое место», которое замедляет весь процесс обработки.
Мы нашли лучшее решение: заменить эти вентиляторы на излучатели коротковолнового инфракрасного излучения.
Проблемы, связанные с ожиданием
У систем с использованием горячего воздуха большая тепловая инерция. Приходится долго ждать, пока печь достигнет нужной температуры, а затем еще дольше ждать, пока тепло проникнет в материал. Это очень раздражает.
Инфракрасное излучение работает иначе: оно распространяется со скоростью света и достигает цели напрямую. Время нагрева сокращается с минут до секунд. Теперь можно достичь значительно более высокой производительности, не тратя при этом лишних усилий на поддержание определенной температуры.
Экономия энергии
Циркуляция воздуха создает множество проблем: большое количество тепла теряется через щели в корпусе и каналах вентиляции. Это значит, что вы тратите энергию впустую.
Инфракрасное излучение направлено точно туда, куда нужно. Это снижает нагрузку на электросеть вашего завода. К тому же контроль над процессом становится более точным: можно мгновенно включать или выключать режимы нагрева и охлаждения. Нет больше риска превышения заданных температур – а это, как мы все знаем, самый быстрый способ повредить чувствительный слой полупроводника в конвекционной печи.
Недостатки
Конечно, это не волшебство. Инфракрасное излучение может не достигать некоторых участков поверхности из-за сложной формы деталей или глубоких углублений. Нельзя просто «направить» тепло в определенную точку. Придется использовать несколько излучателей или отражатели для направления излучения в эти участки.
Еще один недостаток: инфракрасное излучение очень интенсивно. Необходимо убедиться, что датчики настроены на измерение радиационного тепла, а не только температуры окружающего воздуха. В противном случае поверхности могут быть повреждены, даже если воздух все еще прохладный.