На этапе литографии любое отклонение температуры в 0,3°C во время процедуры мягкой обработки может привести к изменению критических размеров деталей на уровне нанометров. Одна-единственная частица на горячей поверхности может повредить всю деталь. Нагреватель для пластин должен обеспечивать стабильную и однородную температуру, день за днем, без лишнего расхода энергии.
Важно иметь возможность контроля за температурой. Мы используем инфракрасные излучатели с кварцевыми элементами, что позволяет достичь однородности температуры на уровне ±0,1°C по всей активной поверхности пластины. Процессы мягкой и жесткой обработки происходят в условиях строгого контроля температуры; параметры температуры остаются стабильными, а система быстро восстанавливает свои параметры после открытия дверцы.
Устройство предназначено для использования в чистых помещениях класса 1–100: используются материалы с низким уровнем выделения газов, гладкие поверхности, а также специальная система циркуляции воздуха, которая минимизирует образование частиц. Надежность обеспечивается за счет резервных механизмов контроля, самодиагностики, а также такой конструкции, которая позволяет работать круглосуточно при одновременном снижении расхода энергии на каждый цикл обработки.
Стабильность температуры напрямую влияет на стабильность качества продукции. Более точный контроль температуры снижает колебания ширины линий на пластине, позволяет сохранять стабильность фокусировки и сокращает количество бракованных изделий. Расход энергии снижается за счет быстрого достижения нужной температуры и ее поддержания без перегрева. Эта же система может обрабатывать пластины разного размера с высокой точностью. В результате уменьшается количество циклов обработки, снижается количество бракованных изделий, а также можно планировать интервалы технического обслуживания.
Вот практические детали: нагреватель можно установить в существующие устройства для покрытия или обработки пластин, но ему необходима отдельная схема питания и система вентиляции, соответствующая стандартам чистых помещений. Сначала необходимо провести тепловое картографирование, чтобы соотнести параметры нагревателя с геометрией устройства и направлением потока воздуха. Также необходимо регулярно калибровать систему каждые трое месяцев, чтобы сохранять однородность температуры на уровне ±0,1°C.
Необходимо заранее спланировать расположение устройства. Оптимальная система циркуляции воздуха не будет функционировать правильно, если пространство около устройства слишком ограничено. Необходимо предусмотреть достаточное пространство, иначе это приведет к проблемам позже.