Прекратите тратить энергию впустую на оборудовании для обработки пластин
Честно говоря, потеря энергии в оборудовании для производства полупроводников — это просто плохой дизайн. Когда используются высокомощные нагревательные элементы, огромная часть энергии просто теряется. Она уходит в корпус оборудования или отражается от поверхности пластины, не принося никакой пользы для процесса обработки.
Мы решаем эту проблему с помощью отражателей, покрытых золотом. Это звучит сложно, но цель проста: направить инфракрасные лучи прямо на пластину.
Почему именно золото?
Большинство людей используют стандартные кварцевые или керамические отражатели, но они позволяют слишком много тепла уйти в корпус оборудования. Мы используем тонкий слой высокочистого золота, поскольку оно отлично отражает инфракрасное световое излучение. Вместо того чтобы энергия поглощалась корпусом, фотоны отражаются обратно туда, где им и следует быть. Таким образом, пластина нагревается быстрее, без необходимости повышения напряжения и перегрузки системы.
Всё дело в форме отражателя
Высокая мощность — это хорошо, но она бесполезна, если энергия теряется впустую. Мы корректируем форму золотого отражателя, чтобы сосредоточить тепло в нужной зоне. Это позволяет двумя способами улучшить процесс: во-первых, температура пластины достигается быстрее; во-вторых, исчезают «горячие точки», которые могут испортить целую партию пластин. Всё становится более стабильным.
Недостатки
Золото не является всесильным материалом. Оно чувствительно к внешним воздействиям. Его нельзя мыть абразивными средствами или позволять ему повреждаться. Если покрытие сходит или загрязняется, отражаемость снижается, а время обработки увеличивается. Чтобы оборудование продолжало работать, необходимо строго соблюдать условия вакуума или использования инертных газов. Если вы работаете в больших объемах, нужно регулярно проверять отражатели. Гораздо проще провести быструю проверку, чем пытаться выяснить причины изменений температурных параметров в процессе работы оборудования.