Прекратите тратить энергию впустую при обработке кремниевых пластин
При нагревании кремниевой пластины каждый ватт имеет значение. Но проблема в том, что стандартные инфракрасные лампы неэффективны: они распределяют энергию повсюду, кроме как там, где это действительно необходимо – на саму пластину.
Мы решили эту проблему с помощью отражателей, покрытых золотом. Таким образом мы направляем инфракрасное излучение прямо на поверхность пластины.
Почему именно золото?
Дело не в его красоте. Золото гораздо лучше отражает инфракрасный свет, чем алюминий или полированная сталь. Благодаря тонкому слою золота отражатель не поглощает тепло сам. Большая часть энергии направляется обратно на пластину. Это позволяет достичь высокого уровня теплопередачи без необходимости повышения напряжения до максимума. К тому же корпус оборудования остается прохладным, поскольку тепло направляется в чип, а не в корпус.
Недостатки высокой энергетической плотности
Фокусировка всей этой энергии имеет двойственный эффект. С одной стороны, время нагрева сокращается, а температура на поверхности пластины становится более равномерной. Но с другой стороны, это создает большую нагрузку на датчики контроля. Если контроллер PID не настроен правильно, температура может превысить заданный уровень. Это происходит очень быстро.
Компромиссы
Честно говоря, золото дорогое и капризное. Оно обеспечивает лучшие тепловые характеристики, но не может выдерживать агрессивные условия. Коррозионные вещества или неправильное обращение могут повредить его. Необходимо сохранять отражатели в идеальном состоянии. Даже несколько отпечатков пальцев или тонкий слой пыли могут снизить их эффективность. Это приводит к появлению «горячих точек», что вызывает деформацию пластины или неравномерное допирование. Это явно не хорошо.
Мы создали эти системы для тех, кто нуждается в максимальной точности. Вы получаете лучшие тепловые характеристики, а расходы на электроэнергию снижаются. Но имейте в виду: ваша система охлаждения должна быть способна справляться с высокой температурой, возникающей внутри лампы.