На линии с длиной волны 300 мм тонкий слой воды, оставшийся после очистки, может значительно снизить качество готового изделия. Остаточная влага нарушает структуру фотополимерного слоя, а неравномерное высыхание создает условия для образования частиц. Чтобы решить эту проблему, мы разработали инфракрасную панель для сушки пластинок с зонированным управлением. Эта панель использует контролируемую, локализованную энергию для высыхания пластинок, не нагружая при этом фотополимерный слой. Панель работает с помощью излучателей коротковолнового инфракрасного света, расположенных в отдельных зонах. Каждая зона обеспечивает одинаковую температуру на всей поверхности пластинки с точностью до ±0,1°C, что позволяет сохранять стабильные условия для процесса сушки. Кварцевая поверхность и герметичный корпус предотвращают образование частиц, что соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100. Мощность панели в каждой зоне составляет от 200 Вт до 1,2 кВт; панель рассчитана на круглосуточную работу без перерывов. Контроль температуры совпадает с параметрами процесса обработки фотополимерного слоя, что обеспечивает стабильные условия для процесса сушки. На практике это означает меньше необходимости в повторной обработке продукции и более точный контроль критических размеров. Можно повысить производительность без увеличения количества бракованных изделий, а также снизить потребление энергии, поскольку тепло подается только там, где это необходимо. Для сушки пластинок после очистки и обработки фотополимерного слоя панель сохраняет пластинки сухими, не нарушая структуру фотополимерного слоя, что позволяет продолжать процесс производства. Установка панели проста, но правильная настройка крайне важна. Панель должна быть расположена так, чтобы соответствовать траектории движения пластинок и геометрии системы вентиляции; в противном случае возникнут проблемы с влагой. Панель совместима со стандартными интерфейсами, но для поддержания стабильной температуры излучателей необходима отдельная система охлаждения. Если учесть все эти факторы, панель будет обеспечивать стабильную сушку пластинок на протяжении всего времени работы.