Pare de desperdiçar calor no processamento de suas wafers
Quando se aquece uma wafer de silício, cada watt conta. Mas aqui está o problema: as lâmpadas infravermelhas padrão são ineficazes. Elas dispersam a energia para todos os lados, exceto onde ela realmente precisa ir – na superfície da wafer.
Nós resolvemos esse problema usando refletores revestidos de ouro. Em vez de permitir que o calor se disperse, nós direcionamos o espectro infravermelho diretamente para a superfície da wafer.
Por que ouro?
Não se trata apenas da aparência. O ouro reflete a luz infravermelha muito melhor do que o alumínio ou o aço polido. Ao adicionar uma camada fina de ouro, evitamos que o refletor absorva o próprio calor. A maior parte dessa energia é direcionada de volta para a wafer. Assim, você consegue um fluxo de calor muito maior, sem precisar aumentar a tensão ao máximo. Além disso, a estrutura da máquina permanece mais fria, pois o calor é direcionado para o chip, e não para o chassi da máquina.
As desvantagens da alta densidade de energia
Focar toda essa energia em um único ponto é como ter uma espada de dois gumes. Por um lado, os tempos de aquecimento são rápidos e a temperatura na superfície da wafer fica uniforme. Mas isso exerce muita pressão sobre o sistema de controle de temperatura. Se o controlador PID não estiver ajustado para lidar com essa rápida transferência de calor, a temperatura pode ultrapassar o valor desejado. Isso acontece rapidamente.
Os compromissos
Sejamos honestos: o ouro é caro e delicado. Ele oferece o melhor desempenho térmico possível, mas não resiste a produtos químicos corrosivos ou ao manuseio inadequado. É preciso manter esses refletores imaculados. Mesmo algumas marcas de dedos ou uma fina camada de poeira podem reduzir sua eficiência de reflexão. Isso leva à formação de pontos quentes, o que causa deformações ou dopagem desigual na wafer. Não é nada bom.
Criamos esses sistemas para pessoas que precisam de precisão total. Você obtém um perfil térmico mais preciso, além de reduzir os custos com energia. Só um aviso: certifique-se de que seu sistema de resfriamento consiga lidar com o calor concentrado gerado pela lâmpada.