Na linha de 300 mm, uma fina camada de água que permanece após a limpeza pode prejudicar significativamente o rendimento do processo. A umidade residual afeta o perfil do fotorevestimento, e uma secagem desigual é, basicamente, um convite para a formação de partículas indesejadas.
Para resolver esse problema, desenvolvemos um painel infravermelho de secagem de wafers, que substitui o calor gerado por feixes amplos por energia controlada e localizada, permitindo assim a secagem do wafer sem causar danos ao fotorevestimento.
O painel utiliza emissores de infravermelho de onda curta, dispostos em zonas controladas independentemente. Cada zona mantém uma uniformidade térmica de ±0,1°C em toda a superfície do wafer, garantindo assim um controle preciso da temperatura.
A superfície de quartzo e o invólucro selado evitam a formação de partículas, mantendo assim as condições adequadas para salas limpas de classe 1 a 100. A potência de saída por zona varia de 200 W a 1,2 kW, e o painel foi projetado para funcionar continuamente, sem interrupções.
O controle de temperatura está alinhado com os ciclos de secagem do fotorevestimento, garantindo assim um comportamento consistente durante todo o processo.
Na prática, isso significa menos necessidade de retrabalho e um controle mais preciso das dimensões críticas dos wafers. É possível aumentar a produtividade sem ter que lidar com defeitos, além de reduzir o consumo de energia, já que o calor é aplicado apenas onde é necessário.
Para a secagem pós-limpeza e no processamento do fotorevestimento, o painel mantém o wafer seco, preservando o perfil do fotorevestimento e garantindo o funcionamento contínuo da linha de produção.
A instalação é simples, mas o alinhamento é algo que não pode ser negligenciado. O painel precisa estar posicionado de forma adequada, de acordo com o caminho percorrido pelo wafer e com a geometria do sistema de exaustão; caso contrário, a umidade poderá voltar a se acumular.
O painel se integra a interfaces padrão, mas é necessário ter um sistema de resfriamento dedicado para manter a temperatura dos emissores estável. Com isso, o painel garante uma secagem consistente, turno após turno.