Secagem adequada de wafers MEMS com tecnologia IR
Se você opera uma fábrica moderna, sabe como as coisas funcionam. Tudo gira em torno de dados e velocidade. Mas, quando se trata da secagem de wafers de sensores MEMS, os métodos convencionais de convecção já não são suficientes. Por isso, passamos a usar sistemas de infravermelho (IR). É uma maneira mais eficiente e inteligente de remover a umidade, sem danificar essas microestruturas delicadas.
O poder do calor infravermelho
A vantagem do infravermelho de onda curta é que ele não perde tempo aquecendo o ar do ambiente. Em vez disso, atinge diretamente as moléculas de água presentes no wafer. É um processo rápido e eficaz. Como não há necessidade de aquecer todo o ar disponível, a estação de secagem permanece mais fresca, o processo acontece muito mais rapidamente, e não há desperdício de energia.
Tornando o processo “inteligente”
Uma fábrica só é tão boa quanto os dados que ela possui. Criamos esses sistemas de aquecimento para que eles possam comunicar-se diretamente com os controladores da fábrica. Ao permitir que os sensores informem ao sistema quando reduzir a potência de aquecimento, não é preciso se preocupar com temperaturas excessivas. Ninguém quer lidar com wafers ou membranas danificadas devido ao calor excessivo. Isso mantém tudo estável.
A realidade
Porém, existe um trade-off. Os arrays de infravermelho de alta densidade geram uma grande quantidade de calor. Se você colocar toda essa energia em um chassis pequeno, sem um sistema de circulação de ar adequado, seus equipamentos eletrônicos serão danificados. É preciso encontrar um equilíbrio: você quer emissores de alta potência, mas também precisa de sistemas de resfriamento eficazes para evitar que os circuitos superaqueçam.
Por que mudar?
Os aquecedores tradicionais são lentos. Leva muito tempo para reagirem. Já o infravermelho é praticamente instantâneo. Como está conectado a um controlador digital, é possível ajustar o nível de calor conforme necessário. Independentemente da espessura dos wafers ou da forma dos sensores, basta ajustar as configurações e continuar com o processo. Isso elimina os problemas causados pelos métodos tradicionais de secagem.