Zorg voor de veiligheid van uw verwarmingsbuizen voor wafers (en behoud van uw apparatuur)
Bij het verwerken van wafers heeft u warmte nodig – en die moet precies op de juiste manier worden gegenereerd. Het probleem is echter dat de hoge spanningen die nodig zijn om deze warmte te produceren, een groot risico op elektrische lekken met zich meebrengen.
Eén klein gebrek aan isolatie is al voldoende om een controller kapot te maken of een hele batch silicium te vernietigen. Dat is een nachtmerriescenario. Daarom nemen we geen risico’s. Elke buis die we maken, wordt eerst getest op isolatieweerstand en op eventuele storingen voordat deze de fabriek mag verlaten.
De realiteit van diëlektrische breuken
In deze verwarmingsbuizen is de afstand tussen het actieve onderdeel en het geaard chassis zeer klein. We bouwen ze zo dat ze hoge spanningspieken kunnen weerstaan zonder dat er bollen van elektriciteit ontstaan. Maar de wetten van de fysica kunnen wreed zijn: zelfs een microscopisch klein gat of barstje in het kwarts of keramiek kan ervoor zorgen dat de elektriciteit hierlangs stroomt. De elektriciteit zal dan rechtstreeks naar de grond gaan.
Om dit te voorkomen, belasten we de buizen met een veel hogere spanning dan die in de praktijk wordt gebruikt. Op deze manier proberen we ze opzettelijk kapot te maken. Als er een verborgen defect is, willen we dat dit defect zich hier in onze fabriek voordoet, en niet in uw apparaat. Hierdoor blijft de isolatieweerstand op het gewenste niveau, zodat uw veiligheidsrelais gesloten blijven en uw systeem stabiel werkt.
Waarom ‘simpele tests’ niet voldoende zijn
Sommige bedrijven testen slechts een paar buizen per batch en beschouwen dat als voldoende. Wij doen dat niet.
De productie is nooit perfect. Een onverwachte fout in de coating of een kleine scheur in de isolatie kan ertoe leiden dat er een ‘probleematische’ buis ontstaat. Als u pech hebt, komt die buis terecht in uw apparaat. Door 100% van onze buizen te testen, weten we zeker dat de elektrische isolatie overal goed is.
Dit betekent dat u een product krijgt dat geen elektriciteit naar de wafers lekt. Uw medewerkers lopen geen risico op schokken, en er zijn geen onvoorspelbare temperatuurschommelingen door onvolledige ontladingen. Er is alleen maar stabiele, voorspelbare warmte.
Het balanceren van belangen
Er is altijd een compromis nodig. Als u meer warmte wilt, moet u de veilige afstand verminderen. Maar als u de heater dichter bij de wafers plaatst, wordt de isolatie meer onder druk gezet en neemt het risico op elektrische lekken toe.
Als u een kleiner formaat wilt hebben, moet u ervoor zorgen dat de behuizing goed geaard is en dat de kabels geschikt zijn voor de specifieke spanning van de buis. U wilt immers niet per ongeluk de isolatie omzeilen die we met zoveel moeite in de buis hebben geïnstalleerd.