Di bilik pengeluaran, had suhu bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan batasan yang tidak boleh dilanggar. Jika terjadi perubahan suhu sebanyak beberapa darjah semasa proses difusi atau pemanggangan bahan photoresist, dimensi kritikal bahan tersebut akan berubah. Perubahan ini akan menyebabkan bahan tersebut menjadi tidak berguna. Lampu yang digunakan untuk mengawal suhu inilah yang menentukan keberkesanan kawalan suhu tersebut.
Apa yang penting dalam proses pengeluaran
Kami menggunakan emitter halogen gelombang pendek yang diletakkan di dalam kelongsong kuarsa berkualiti tinggi. Dengan cara ini, haba dapat sampai ke permukaan wafer dengan cepat dan secara konsisten. Kita memastikan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C, dan sistem kawalan berbentuk lingkaran tertutup memastikan nilai tetapan tetap stabil dengan masa tindak balas kurang dari satu saat. Profil output dipilih sedemikian rupa agar cahaya NIR dapat menembusi bahan photoresist dengan baik, sehingga bahan tersebut mendapat tenaga yang konsisten semasa proses pemanggangan. Ini seterusnya mengurangkan risiko pembentukan gelombang stasioner dan ketidakseragaman pada tepi bahan tersebut.
Reka bentuk peralatan ini sesuai untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Peralatan ini juga tidak akan mengeluarkan zarah-zarah apabila suhu berubah-ubah. Kami telah melihat peralatan ini beroperasi selama lebih dari 5,000 jam tanpa penurunan output melebihi 5%. Badan lampu pula direka untuk tahan terhadap tekanan haba yang berulang-ulang, sesuai dengan syarat-syarat penggunaan moden.
Mengapa ini penting
Dalam proses difusi, keseragaman suhu sangat penting untuk memastikan rintangan lapisan bahan tetap konsisten, dan untuk mengawal profil doping dengan baik. Dalam modul pemanggangan bahan photoresist, kebolehulangan proses memastikan pelarut sisa dapat dibuang tanpa merosakkan kawalan lebar garis bahan tersebut. Hasilnya adalah proses yang lebih efisien, kurangnya keperluan untuk melakukan kerja pembaikan, dan masa proses yang lebih dapat diramalkan.
Selain itu, penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana lampu dapat mencapai nilai tetapan dengan cepat dan mengekalkannya tanpa melebihi batas yang ditetapkan. Waktu henti yang tidak dirancang juga berkurangan, kerana lampu dapat mengekalkan kestabilan suhu walaupun berlaku perubahan suhu semasa waktu kerja atau penyelenggaraan.
Perhatikan perkara-perkara berikut jika anda ingin mengelakkan masalah
Pemasangan lampu memerlukan perhatian terhadap polariiti, aliran cecair penyejuk, dan tork pemasangan. Jika salah satu daripada faktor ini tidak diambil kira, ia akan menyebabkan pembentukan titik panas dan memendekkan jangka hayat lampu. Lampu ini sesuai untuk digunakan pada kebanyakan platform furnace, tetapi soket dan konektor perlu disesuaikan dengan alat yang digunakan.
Rancang masa yang cukup untuk menstabilkan output lampu, dan masukkan masa tersebut ke dalam jadual penyelenggaraan.