깨끗한 제조 환경을 유지하기 위한 핵심: 가열에 관한 진실
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 공기 필터만으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 열원에서 발생하는 가스와 미세 입자들입니다. 바로 이 부분에서 문제가 생기는 것입니다.
웨이퍼에 오염물질이 달라붙는 것을 막기 위해, 우리는 고순도의 합성 석영을 IR 램프에 사용합니다. 이 방식이 훨씬 효과적입니다.
왜 석영이 중요한가?
일반적인 유리나 저급 재료는 열이 가해지자마자 불순물이 새어 나옵니다. 반면, 고순도의 융합 실리카는 극심한 열에도 변형되지 않으며, 화학적으로도 안정적입니다.
이러한 램프는 단파장의 IR 복사선을 방출합니다. 최고의 점은 열이 목표물에 직접 전달된다는 것입니다. 주변 공기를 가열하는 데 시간이 낭비되지 않아, 바닥에 있는 먼지가 날아오르는 현상도 없습니다.
“입자의 침입”을 막는 방법
대부분의 가열 요소는 연결부나 코팅 등의 작은 부분 때문에 고장납니다. 우리는 정밀하게 제작된 단자를 사용하여 금속이 팽창하거나 수축할 때 금속 조각들이 떨어져 나가는 것을 방지합니다.
또한 석영 외부 표면도 잘 다듬어져 있어서, 입자들이 숨을 수 있는 표면의 구멍들이 없습니다. 게다가, 디자인도 간결하여 큰 보호 장치가 필요하지 않습니다. 부품이 적으면 고장날 가능성도 줄어듭니다.
주의해야 할 사항
물론, 고순도 석영은 깨끗하지만, 동시에 쉽게 부서집니다.
절대로 맨손으로 이 램프를 만지지 마세요. 피부에서 나오는 기름 때문에 과열될 수 있으며, 그 결과 램프가 손상될 수 있습니다. 설치팀에게는 먼지가 없는 장갑과 이소프로필 알코올을 사용해 청소하도록 지시하세요.
마지막으로, 이 램프는 작은 공간에 많은 열을 생성합니다. 그러므로 냉각 팬을 제대로 설정해야 합니다. 공기 흐름이 약하면 램프가 손상될 수 있습니다. 적절히 냉각시켜 주면 램프의 수명이延长됩니다.