Hentikan pemborosan energi panas dalam proses pemrosesan wafer Anda
Saat memanaskan wafer silikon, setiap watt energi sangatlah penting. Namun, masalahnya adalah lampu IR standar menghasilkan energi yang tersebar ke mana-mana, bukan hanya ke tempat yang sebenarnya dibutuhkan—yaitu permukaan wafer itu sendiri.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Dengan cara ini, energi inframerah dapat dialihkan langsung ke permukaan wafer, sehingga energi tersebut tidak diserap oleh reflektor itu sendiri.
Mengapa emas?
Bukan karena kemewahannya saja. Emas memiliki kemampuan untuk memantulkan cahaya inframerah jauh lebih baik dibandingkan aluminium atau baja yang telah dipolis. Dengan menambahkan lapisan emas yang tipis, kita dapat mencegah reflektor tersebut menyerap panas. Sebagian besar energi tersebut akan kembali ke wafer. Dengan demikian, Anda mendapatkan fluks panas yang lebih tinggi, tanpa perlu meningkatkan tegangan hingga batas maksimal. Selain itu, rangka mesin pun tetap dingin, karena panasnya langsung masuk ke chip, bukan ke rangka mesin.
Masalah dengan densitas energi yang tinggi
Fokuskan semua energi tersebut ke satu titik memang memiliki kelebihan, tetapi juga risiko. Di satu sisi, waktu peningkatan suhu menjadi lebih cepat, dan suhu di seluruh permukaan wafer menjadi lebih merata. Namun, hal ini memberikan tekanan besar pada sistem pengendali suhu. Jika kontroler PID tidak disetel dengan baik untuk menangani transfer panas yang cepat ini, maka suhu wafer akan melebihi target yang ditentukan. Hal ini bisa terjadi dengan cepat.
Kompromi yang harus diterima
Sejujurnya, emas merupakan bahan yang mahal dan membutuhkan perawatan yang ekstra. Emas memberikan kinerja termal yang optimal, tetapi ia tidak tahan terhadap bahan kimia korosif atau perlakuan yang kasar. Reflektor tersebut perlu selalu dalam kondisi bersih. Bahkan sedikit sekali noda atau debu pun dapat mengurangi efektivitas reflektor tersebut. Hal ini akan menyebabkan adanya titik-titik panas, yang pada akhirnya akan menyebabkan wafer menjadi bengkok atau proses doping yang tidak merata. Tentu saja hal ini bukanlah hal yang menguntungkan.
Kami membuat sistem ini untuk orang-orang yang membutuhkan presisi yang tinggi. Dengan sistem ini, Anda akan mendapatkan profil termal yang lebih baik, dan biaya listrik pun akan berkurang. Hanya saja, pastikan sistem pendinginan Anda mampu menangani panas yang dihasilkan oleh lampu tersebut.