Pada garis produksi berukuran 300 mm, adanya lapisan air tipis yang tertinggal setelah proses pembersihan akan merusak kualitas produk yang dihasilkan. Kelembapan yang tersisa akan mengganggu struktur fotoresist, dan proses pengeringan yang tidak merata justru akan menciptakan partikel-partikel bersih yang bisa merusak kualitas produk.
Kami membuat panel pengering inframerah bertipe zona untuk mengatasi masalah ini. Panel ini menggunakan sinar inframerah berfrekuensi rendah, sehingga energi panas yang digunakan lebih terkendali dan hanya menyerang bagian-bagian tertentu dari wafer, tanpa merusak lapisan fotoresistnya.
Panel ini menggunakan emitor inframerah berfrekuensi rendah, yang ditempatkan dalam zona-zona yang dikendalikan secara independen. Setiap zona memastikan keseragaman suhu pada permukaan wafer hingga ±0,1°C, sehingga kontrol suhu tetap akurat dan konsisten.
Permukaan panel yang terbuat dari kuarsa serta rangka pelindung yang kedap udara memastikan bahwa tidak ada partikel yang terbentuk, sehingga kondisi ruang produksi tetap bersih sesuai standar klase 1–100. Daya keluaran per zona berkisar antara 200 W hingga 1,2 kW, dan panel ini dirancang untuk beroperasi 24/7 tanpa adanya downtime yang tidak diinginkan.
Kontrol suhu pada panel ini selaras dengan proses pemanasan fotoresist, sehingga hasil pengeringan menjadi konsisten—tanpa adanya penyimpangan suhu.
Dalam praktiknya, hal ini berarti jumlah produk yang harus dibuat ulang berkurang, dan kontrol dimensi kritis produk pun menjadi lebih baik. Anda dapat meningkatkan kapasitas produksi tanpa perlu menghadapi masalah produk yang rusak, sekaligus mengurangi konsumsi energi karena panas hanya diterapkan di tempat yang diperlukan saja.
Untuk proses pengeringan setelah pembersihan dan pengolahan fotoresist, panel ini memastikan wafer tetap kering, struktur fotoresist tetap utuh, dan proses produksi berjalan lancar.
Pemasangan panel ini cukup sederhana, tetapi penyesuaian posisinya sangat penting. Panel harus ditempatkan sedemikian rupa agar sesuai dengan jalur pergerakan wafer dan geometri sistem pengeluaran udara. Jika tidak, kelembapan akan tetap ada dan merusak kualitas produk.
Panel ini dapat terintegrasi dengan antarmuka standar, tetapi diperlukan sistem pendingin khusus untuk menjaga suhu emitor tetap stabil. Dengan demikian, panel ini dapat memberikan hasil pengeringan yang konsisten dari shift ke shift.