נורה חלופית למערכת הליתוגרפיה של ASML

בקומת הייצור, תא הליתוגרפיה מוגבל לתקציב תרמי קבוע. אפיית רכה ואפיית קשה אינן פרמטרים שניתן לשנות בהתאמה חופשית – הן מגבלות קבועות. כאשר תפוקת הנורה...