Obtenir la chaleur nécessaire dans un vide
Lors de la fabrication de semi-conducteurs, la dernière chose dont on a besoin, c’est que des particules indésirables endommagent la puce. Mais on a quand même besoin de chaleur – et en grande quantité. C’est là que les chauffages à rayonnement infrarouge compatibles avec le vide entrent en jeu. Au lieu de compter sur l’air ou les gaz pour diffuser la chaleur (ce qui ne fonctionne d’ailleurs pas dans le vide), ces chauffages transmettent directement l’énergie rayonnante vers la puce.
C’est efficace… et direct.
Le défi lié à la densité de puissance
Dans le vide, le rayonnement est le seul moyen de transmettre de la chaleur. Nous concevons donc ces dispositifs pour qu’ils transmettent une grande quantité de chaleur rapidement.
Si vous continuez à utiliser des systèmes de chauffage résistif traditionnels, vous gaspillez probablement beaucoup d’énergie rien que pour réchauffer les parois de votre chambre de production. C’est comme essayer de réchauffer toute une maison juste pour garder une tasse de café au chaud. Le rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde change cela : on cible directement la puce, et non l’appareil tout entier.
Résultat ? Les temps de préchauffage diminuent, et vos factures d’électricité aussi. C’est un moyen simple de rendre la salle de production plus écologique, sans compliquer la vie des opérateurs.
Les matériaux importent vraiment
On ne peut pas simplement mettre n’importe quelle lampe dans un environnement de vide. Si on utilise du verre standard, celui-ci se brisera ou commencera à libérer des substances chimiques dans l’environnement. C’est un véritable cauchemar pour la qualité des produits fabriqués.
Nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour les enveloppes des lampes, car il peut résister aux contraintes exercées. Nous sommes également très exigeants en ce qui concerne les joints et les électrodes. Si un joint fuit, le vide disparaît. Si une seule particule s’échappe, la puce devient invendable. Nous ne prenons pas ce risque.
Les compromis à prendre en compte
Il y a cependant un problème : lorsque l’on injecte autant de puissance dans un système de chauffage à rayonnement infrarouge, le châssis qui l’entoure est mis à rude épreuve. La puce se réchauffe rapidement, mais la chaleur réfléchie doit bien aller quelque part. Si votre système de refroidissement n’est pas suffisamment performant, vous verrez que les paramètres du processus changent. C’est frustrant et difficile à calibrer. Il faut donc s’assurer que le système de refroidissement soit adapté dès le départ.
La bonne nouvelle ? Ces dispositifs ont été conçus pour être des substituts directs aux anciens chauffages. Vous pouvez ainsi remplacer vos anciens chauffages, améliorer les performances du système de refroidissement, et cesser de gaspiller de l’énergie – sans avoir à démonter toute votre ligne de production.