Comment régler correctement la température de la chambre à vide dans une usine intelligente
Lorsqu’on construit une usine moderne, il est facile de se laisser séduire par les termes à la mode liés à l’« Industrie 4.0 ». Mais en réalité, on cherche simplement à créer un système thermique qui puisse communiquer efficacement avec les données générées par l’usine.
C’est pourquoi nous utilisons des systèmes à rayonnement infrarouge pour les chambres à vide. L’avantage majeur est que la source de chaleur reste séparée de l’atmosphère ambiante. On obtient ainsi la température souhaitée sans avoir à craindre que les wafer ou les substrats ne soient endommagés. C’est simple et efficace.
Faire en sorte que le matériel fonctionne correctement
Une usine intelligente n’est bonne que dans la mesure où son système de feedback fonctionne bien. Nous concevons nos systèmes à rayonnement infrarouge de manière à ce qu’ils puissent être connectés directement aux contrôleurs PLC.
Comme nous utilisons des alimentations haute fréquence, le temps de réponse est mesuré en millisecondes. Si vous avez déjà eu affaire à des éléments chauffants résistifs, vous savez quel problème c’est : l’attente pendant que la chaleur se propage. Avec le rayonnement infrarouge, ce problème disparaît. On peut augmenter ou diminuer la température presque instantanément.
C’est rapide. Vraiment très rapide. Et c’est ça qui rend possible un cycle de production numérisé.
Les défis liés au travail en milieu vacuum
Le problème avec le travail en milieu vacuum, c’est que la transmission de chaleur par convection n’est pas possible. On ne peut pas compter sur l’air pour transférer la chaleur. Tout dépend donc du rayonnement.
Nous utilisons des émetteurs à rayonnement infrarouge à longueonde, car ils transmettent l’énergie profondément dans le matériau. Il faut cette densité de chaleur pour que le processus fonctionne correctement.
Mais attention : il faut veiller à la consommation d’énergie. Les lampes à haute densité génèrent beaucoup de chaleur, ce qui peut endommager les parois de la chambre à vide. Si vous essayez d’augmenter rapidement la température, assurez-vous que vos joints hermétiques peuvent résister à cette pression thermique. Vous ne voulez pas de fuites à cause d’une surcharge thermique.
Pourquoi le rayonnement infrarouge est idéal pour l’automatisation
Le meilleur avantage du rayonnement infrarouge, c’est sa facilité de suivi. Nous intégrons des thermocouples et des pyromètres directement dans le boîtier de la lampe, afin de transmettre des données en temps réel vers le système de contrôle.
Cela est très utile pour détecter le vieillissement des lampes. Au lieu de deviner quand une lampe va cesser de fonctionner, le système de contrôle détecte la baisse de luminosité et augmente automatiquement la puissance pour maintenir une température constante.
Pas de devinements. Pas de pannes inattendues. Un système qui s’occupe de tout seul.