Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung zu erhitzen – anstatt die Wafer selbst zu erhitzen.
Falls Sie bereits traditionelle Konvektions- oder allseitige Heizgeräte für die Verarbeitung von Halbleitern verwendet haben, kennen Sie sicherlich die Probleme damit. Man verbraucht eine Menge Energie – doch die Hälfte dieser Energie geht einfach in die Innerwand der Maschine verloren.
Das ist eine Katastrophe: Das Gehäuse der Maschine wird überlastet – und was noch schlimmer ist: Die Mitarbeiter müssen praktisch mit einem riesigen Radiator umgehen. Das ist weder sicher noch effizient.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Richtungsgebundene Infrarot-Heizung.
Warum Richtungsheizung tatsächlich funktioniert
Stellen Sie sich ein herkömmliches Heizgerät vor – es gibt Energie in alle Richtungen ab, also in 360 Grad. Wir machen das anders: Wir nutzen Kurzwellenquarztuben sowie präzise Reflektoren, um die Energie gezielt zu lenken. Anstatt die Luft zu erwärmen, leiten wir die Energie direkt auf den Waferträger oder das Substrat. Die Wärme bleibt dort – sie bleibt nicht in der Luft oder im Metall hängen.
Das Ergebnis? Sie können die gewünschte Prozesstemperatur erreichen – während die Außenhülle des Trägers weiterhin kühl bleibt.
Die Herausforderungen – und wie man sie löst
Es gibt zwar Vorteile bei der Richtungsheizung – aber auch Herausforderungen. Kurzwellen-Infrarotstrahlung ist äußerst leistungsstark – deshalb steigt die Temperatur sehr schnell an. Doch diese Intensität bedeutet, dass man besonders präzise vorgehen muss. Wenn die Reflektoren nur um ein paar Grad falsch ausgerichtet sind, entstehen „heiße Punkte“ an den Wandungen der Ausrüstung.
Deshalb arbeiten wir nur mit hochpräzisen Reflektoren – diese müssen perfekt ausgerichtet sein. Wenn sie nicht genau ausgerichtet sind, funktioniert das System nicht.
Eine Erleichterung für die Mitarbeiter
Durch den Wechsel auf Richtungs-IR-Heizung entfällt der „Ofeneffekt“. Es gibt keine überhitzte Luft mehr in dem Reinraumbereich. Das ist ein großer Vorteil für das Lüftungssystem – dieses muss nicht mehr Überstunden machen, um den Raum wieder abzukühlen. Zudem können die Mitarbeiter nun unbesorgt mit der Ausrüstung arbeiten – ohne Gefahr zu laufen, sich zu verbrennen. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung, die es ermöglicht, mehr Arbeit zu erledigen, ohne dass der Arbeitsplatz zu einer Gefahr wird.