Infrarot gegen Heißluft: Hören Sie auf, Zeit im Reinraum zu verschwenden!
Wenn Sie eine Anlage zur tiefgehenden Bearbeitung von Halbleitern betreiben, wissen Sie sicherlich, dass Zeit Ihre größte Kostenfaktor ist. Viele ältere Anlagen nutzen immer noch die Methode der Heißluftzirkulation. Das ist eine veraltete Methode: Man erhitzt eine große Menge Gas, leitet es durch zahlreiche Leitungen – und wartet dann darauf, dass die Wärme das Werkstück erreicht. Das ist langsam. Und in diesem Geschäft bedeutet Langsamkeit hohe Kosten.
Der Vorteil von Infrarotlampen
Hier kommt zum Tragen, warum Infrarotlampen so vorteilhaft sind. Infrarotlampen arbeiten ohne Luft als Übertragungsmedium. Sie senden elektromagnetische Strahlung direkt auf das Werkstück. Stellen Sie sich vor, die Sonne würde an einem kalten Tag Ihre Haut erwärmen – Sie müssen nicht warten, bis die Luft erst warm wird; Sie spüren die Wärme sofort. Wenn man eine Infrarotlampe in einer Reinraumanlage verwendet, trifft sie die Zielfläche bereits in dem Moment, in dem man den Schalter umlegt. Es gibt keinen Aufwärmzeitraum – man muss nicht warten, bis der Ofen die gewünschte Temperatur erreicht hat. Dadurch werden die Prozesszeiten erheblich verkürzt.
Platzierung in der Reinraumanlage
Im Reinraum ist immer Platzmangel. Lüfter und Leitungen nehmen viel Platz in Anspruch. Infrarotlampen hingegen sind kompakt und benötigen wenig Platz. Sie können sie einfach direkt über der Arbeitsfläche montieren und weiterarbeiten.
Achtung: Hotspots
Da Infrarotstrahlung sehr konzentriert ist, muss man auf die richtige Anordnung der Lampen achten. Wenn man bei der Leistung und Entfernung nicht aufpasst, entstehen ungleichmäßige Hitzeverteilungen auf dem Wafer. Es bedarf etwas Feinjustierung, um das perfekte Ergebnis zu erzielen – doch einmal eingestellt, funktioniert es hervorragend.
Warum auf Infrarot umsteigen?
Der Umstieg auf Infrarotlampen ist geradezu logisch – schließlich spart das Zeit und Energie. Bei der Verwendung von Heißluft geht ein großer Teil der Wärme in die Wände und Decke verloren. Mit Infrarotlampen geht die Energie genau dorthin, wohin sie soll.
Eine wichtige Hinweis: Sie müssen auch Ihre PID-Controller überprüfen. Infrarotlampen reagieren viel schneller als Luft. Wenn Sie weiterhin die alte Steuerlogik verwenden, werden Sie wahrscheinlich die gewünschte Temperatur überschreiten und dadurch eine Charge ruinieren. Wechseln Sie die Einstellungen auf eine schnellere Reaktion – dann wird Ihre Produktivität sofort steigen.