Hören Sie auf, zuzulassen, dass kaputte Infrarotlampen Ihre Produktionsrate ruinieren!
In einer Hochlastumgebung für Halbleitergeräte ist eine kaputte Infrarotlampe kein einfaches Problem – es handelt sich dabei um ein echtes Albtraum-Szenario. Wenn eine Quarztube zerbricht, haben Sie nicht nur ein defektes Gerät am Händen. Glasstücke und Halogengas fallen direkt auf die Wafer. Ein einziger Defekt bedeutet, dass die gesamte Charge unwertbar wird. Dann muss die ganze Kammer gereinigt werden.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Anstelle davon, die Lampen ungeschützt zu lassen, umhüllen wir sie mit speziellen Gehäusen aus Edelstahl.
Die Unordnung bleibt im Gehäuse
Man kann diese Gehäuse als Art „Sicherheitskäfig“ betrachten. Sie bestehen aus hochwertigem Edelstahl, sodass sie wie eine physische Barriere fungieren. Wenn eine Lampe durch Hitze beschädigt wird, bleiben die Scherben im Stahlgehäuse gefangen – sie berühren die Wafer nie.
Wir verwenden präzise geschnittene Öffnungen, durch die das Infrarotlicht passieren kann, während die Scherben dort bleiben, wo sie hingehören.
Umgang mit der Hitze
Edelstahl eignet sich zwar hervorragend zur Isolierung, doch er erhöht auch die Wärmemasse. Das muss man bei der Planung der Aufheizzeit berücksichtigen. Wir verwenden außerdem spezielle Legierungen, die bei hoher Temperatur nicht oxidieren. Das ist wichtig, damit das Gehäuse nicht abblättert oder Giftstoffe freisetzt.
Der richtige Abstand
Der Abstand zwischen dem Glühfaden und den Wafern muss genau richtig sein. Ist der Abstand zu gering, kann die Lampe beim Ausdehnen brechen, da sie auf eine feste Kante stößt. Wir legen daher etwas Spielraum ein – berechnete Toleranzen – damit die Lampe sich ausdehnen und zusammenziehen kann, ohne zu brechen.
Der Trade-off
Der Nachteil ist: Durch das Gehäuse entsteht mehr Abstand zwischen dem Glühfaden und den Wafern. Dadurch sinkt der direkte Wärmefluss etwas. Um das auszugleichen, muss man eventuell die Leistung der Lampe erhöhen oder die Wafer länger in der Kammer belassen, damit die Produktionsrate erhalten bleibt.
Es ist ein kleiner Preis, den man zahlen muss, um nicht eine ganze Charge an Wafern zu verlieren. Achten Sie darauf, hochtemperaturbeständige Kabel zu verwenden und die Kühlventilatoren ordentlich zu platzieren. Man möchte schließlich nicht, dass das Gehäuse die restlichen Komponenten des Geräts überhitzt.