Hören Sie auf, Zeit mit heißer Luft zu verschwenden – warum IR-Strahler mit Goldreflektoren tatsächlich funktionieren
Wenn Sie weiterhin auf die Zirkulation von heißer Luft für den Halbleiterprozess angewiesen sind, warten Sie im Grunde darauf, dass die Luft die Arbeit übernimmt. Der Umstieg auf IR-Lampen mit Goldreflektoren verändert die Situation völlig. Man muss nicht mehr auf Konvektion setzen, sondern kann stattdessen Strahlungsenergie nutzen.
Mit anderen Worten: Dadurch wird die Wartezeit im Produktionsprozess reduziert.
Die Physik dahinter ist ganz einfach:
Heiße Luft bewegt sich langsam – sie muss durch ein Medium strömen, damit die Wärme an die zu bearbeitende Oberfläche gelangt. IR-Lampen machen sich nicht die Mühe, durch ein Medium zu strahlen. Sie senden elektromagnetische Wellen direkt auf das Zielobjekt.
Wir verwenden goldbeschichtete Reflektoren – schließlich ist Gold hervorragend darin, Infrarotlicht zurückzuschlagen. Aluminium geht auch, aber Gold ist besser. Es verhindert, dass die Wärme in den Maschinenkörper entweicht, und lenkt sie direkt auf die Wafer oder Substrate.
Warum Gold?
Günstige Reflektoren leiten Energie ab – sie sind somit ineffizient. Ein goldbeschichteter Reflektor konzentriert den Strahl und erhöht dadurch die Wärmedichte genau dort, wo sie benötigt wird.
Der Aufwärtprozess ist schnell – wirklich sehr schnell.
Wenn man eine Hochleistungsanlage betreibt, scheinen 30 Sekunden Ersparnis pro Heizzyklus nicht viel zu sein. Doch rechnen Sie mal über eine ganze Schicht hinweg – das bedeutet Stunden zusätzlicher Produktionszeit.
Aber es ist nicht alles Magie…
Man muss vorsichtig sein. Die hohe Intensität der IR-Wärme kann problematisch sein. Wenn man bei der Steuerung mit PID-Reglern und Thermoelementen nicht genau vorgeht, kann die Temperatur zu hoch werden.
Und wenn das Material keine gute Wärmeleitfähigkeit hat, könnte die Oberfläche bereits vor dem Erwärmen des Kerns beschädigt werden. Man muss also die Entfernung zwischen der Lampe und der zu behandelnden Oberfläche genau einstellen, um die richtige Intensität zu erreichen.
Einbau in die Bestandsanlage
Einer der Vorteile ist die kompakte Bauweise dieser Systeme. Man kann die riesigen Lüfter sowie die komplizierten Leitungssysteme weglassen. IR-Systeme sind kompakt – man kann sie meist direkt in die vorhandenen Behälter einbauen, ohne Probleme zu haben.
Eine wichtige Hinweis: Überprüfen Sie Ihre Stromversorgung. Die Halogenfilamente erzeugen beim Einschalten eine hohe Spannung – stellen Sie daher sicher, dass Ihr System diese Belastung aushalten kann.