Im Einsatz ist der thermische Budgetwert keine Empfehlung – es handelt sich dabei vielmehr um eine Grenze, die unbedingt eingehalten werden muss. Schon eine kleine Abweichung bei der Erhitzung des Photoresists führt dazu, dass die Gleichmäßigkeit der Struktur beeinträchtigt wird. Ein kalter Punkt während des Trocknens der Wafer bedeutet wiederum, dass man sich mit Problemen bezüglich der Ränder beschäftigen muss. Wir haben die Infrarotlampe für den Einsatz in solchen Situationen entwickelt – sie sorgt dafür, dass die Wärme genau dort angebracht wird, wo sie benötigt wird.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-NIR-Emittoren in einem Quarzmodul. Dadurch erfolgt eine schnelle und effektive Wärmeabgabe, ohne dass das Substrat überhitzt wird. Die Temperaturgleichmäßigkeit in der Verbindungsbereich bleibt bei ±0,1°C, und die Reproduzierbarkeit bleibt von Charge zu Charge konstant. Das Gerät eignet sich für den Einsatz in Reinräumen – es ist kompatibel mit Klassen 1–100 – und es gibt keine Partikel ab. Es kann rund um die Uhr betrieben werden; bereits installierte Geräte haben mehr als 5.000 Stunden lang funktioniert, ohne dass es zu einer Abnahme der Leistung von mehr als 5% kam.
Warum es perfekt für unsere Arbeit geeignet ist
Beim Trocknen und Reinigen der Wafer beseitigt die Lampe schnell die Feuchtigkeit, ohne dass das Muster überhitzt wird. Bei dem Photoresist sorgt sie für ein gleichmäßiges Erhitzen – dadurch bleiben Überlappungen und Linienbreiten unter Kontrolle. Beim Verpacken hilft sie dabei, Kapselierstoffe und Klebstoffe gleichmäßig zu härten – dadurch sind weniger Nacharbeiten nötig. Da die Wärme nur punktuell angebracht wird, wird somit Energie gespart.
Praktische Details, die beachtet werden müssen
Für die Installation ist ein eigener Stromanschluss sowie eine saubere, korrekt ausgerichtete Befestigung notwendig, damit die Brennweite stimmt. Die Lampe funktioniert am besten auf flachen, reflektierenden Oberflächen. Wenn die Oberfläche texturiert oder stark absorbierend ist, muss mit einer geringfügigen Anpassung der Leistung gerechnet werden. Wir liefern außerdem einen Schnellanschlusskabelzug sowie eine Kalibrierungsroutine, mit der Intensität und Dauer der Beleuchtung in Minuten eingestellt werden können. So kann man eine konstante Leistung sicherstellen, was wiederum die Reproduzierbarkeit verbessert.