V prostředí litografie je právě rovnoměrnost teploty PEB po celé ploše desky to, co vlastně určuje kontrolu hodnoty CD a také kvalitu povrchu desky....

Na výrobní hale může odchylka 0,2°C při soft bake vyřadit velké množství šarže. Sledujete, jak se fotorezist ztenčuje na okraji, rozšiřují se...