V praxi není termální rozpočet jen doporučením – jedná se o hranici, kterou nelze překročit. Sebemenší chyba při zahřívání fotorezistu může způsobit nesrovnalosti v rovnoměrnosti povrchu disku. Jediný chladný bod během sušení polovodičových desek zase způsobuje problémy s jejich povrchem. Vytvořili jsme infračervenou lampu určenou k použití v těchto podmínkách – poskytuje stabilní, lokální teplo přesně tam, kde ho proces potřebuje.
Co je důležité
Používáme emitory krátkovlnného NIR světla umístěné v křemíkovém modulu – díky tomu je reakce rychlá a efektivní, bez nadměrného zahřívání substrátu. Rovnoměrnost teploty v oblasti spojování zůstává na úrovni ±0,1 °C a opakovatelnost zůstává vysoká i v jednotlivých sériích výrobků. Zařízení je vhodné pro použití v čistých prostorách – kompatibilní s třídami 1–100 – a neuvolňuje žádné částice. Je určeno k nepřetržitému provozu po dobu 24/7; zařízení používaná v praxi dosáhla více než 5 000 hodin provozu s poklesem výkonu menším než 5 %.
Proč se hodí pro náš úkol
Při sušení a čištění polovodičových desek lampa rychle odstraňuje vlhkost, aniž by docházelo k nadměrnému zahřátí povrchu. Na fotorezistu zajišťuje konzistentní profily zahřívání – díky tomu zůstávají parametry jako tloušťka vrstvy a rozměry prvků pod kontrolou. Při balení pomáhá lampa stabilně vysušovat izolační a lepicí látky, což znamená méně oprav. A protože teplo je aplikováno na požadavek, nikoliv v celé komoře, šetříme energii.
Praktické detaily, na které je potřeba dbát
Instalace vyžaduje speciální napájecí sběrnici a čisté, správně umístěné spojení, aby byla zachována správná vzdálenost ohniska. Lampa funguje nejlépe na plochých, reflexních površích; pokud je povrch strukturovaný nebo silně absorpční, je potřeba vzít v úvahu menší rozdíly v napájecím výkonu. Dodáváme také rychlospojovací kabely a proceduru kalibrace, která umožňuje nastavit intenzitu a dobu působení lampy během několika minut. Poté můžete nastavit parametry pro opakovatelný provoz.