আপনার ওয়েফার টুলগুলোতে শক্তি নষ্ট হওয়া বন্ধ করুন।
সত্যি বলতে, সেমিকন্ডাক্টর টুলগুলোতে শক্তি নষ্ট হওয়া মানেই খারাপ ডিজাইন। যখন উচ্চ-শক্তির হিটিং এলিমেন্টগুলো ব্যবহৃত হয়, তখন সেই শক্তির বেশিরভাগই অপচয় হয়ে যায়। এটা টুলের অভ্যন্তরে চলে যায়, অথবা লক্ষ্যবস্তু থেকে প্রতিফলিত হয়ে যায়; ফলে আপনার প্রক্রিয়ার জন্য কোনো উপকার হয় না।
আমরা এর সমাধান হিসেবে সোনার আবরণযুক্ত রিফ্লেক্টর ব্যবহার করি। এটা শোনার মতো জটিল মনে হলেও, উদ্দেশ্যটি খুবই সরল—ইনফ্রারেড রশ্মিগুলোকে সরাসরি ওয়েফারে পাঠানো।
কেন সোনা?
বেশিরভাগ মানুষ সাধারণ কোয়ার্টজ বা সিরামিক রিফ্লেক্টর ব্যবহার করেন; কিন্তু এগুলো অতিরিক্ত তাপকে টুলের অভ্যন্তরে চলে যেতে দেয়। আমরা উচ্চ-ঘনত্বের সোনার আবরণ ব্যবহার করি; কারণ সোনা ইনফ্রারেড আলো প্রতিফলিত করতে অত্যন্ত কার্যকর।
ফলে টুলের অভ্যন্তরে শক্তি জমা না হয়ে ফোটনগুলো সরাসরি ওয়েফারে পাঠানো হয়। এর ফলে ওয়েফারটি আরও উষ্ণ হয়; আর ভোল্টেজ বাড়ানোর বা সিস্টেমকে চাপ দেওয়ার দরকার হয় না।
সমস্যাগুলো
সোনা অপরাজেয় নয়। এটা সংবেদনশীল। এটাকে অ্যাব্রেসিভ ক্লিনার দিয়ে পরিষ্কার করা যায় না; আবার এটাকে ক্ষতিগ্রস্ত করাও যায় না। যদি এর আবরণটি খসে যায় বা দূষিত হয়ে যায়, তাহলে এর প্রতিফলন ক্ষমতা কমে যায়; ফলে প্রক্রিয়ার গতি ধীর হয়ে যায়।
এটাকে কার্যকর রাখতে হলে ভ্যাকুয়াম বা ইনার্ট গ্যাস পরিবেশ নিয়ন্ত্রণ করা জরুরি। যদি আপনি উচ্চ-পরিমাণে ওয়েফার উৎপাদন করেন, তাহলে নিয়মিতভাবে রিফ্লেক্টরগুলো পরীক্ষা করা উচিত। কারণ প্রক্রিয়ার মাঝখানে তাপমাত্রা কেন পরিবর্তিত হচ্ছে তা জানা খুবই কঠিন।