৩০০ মিমি লাইনে, পরিষ্কার করার পরও সেখানে থাকা পাতলা জলের আস্তরণটি উৎপাদন ক্ষমতাকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। অবশিষ্ট আর্দ্রতা ফটোরেজিস্টের গঠনকে বিঘ্নিত করে; আর অসমানভাবে শুকানো হলে কণাগুলো সৃষ্টি হয়।
এই সমস্যা সমাধানের জন্য আমরা “জোনড ওয়েফার ড্রাইং ইনফ্রারেড প্যানেল” তৈরি করেছি। এটা ব্রড-বিম তাপ ব্যবহার না করে নিয়ন্ত্রিত, স্থানীয় তাপ ব্যবহার করে ওয়েফারটিকে শুকিয়ে দেয়; ফলে ফটোরেজিস্টের আস্তরণটি ক্ষতিগ্রস্ত হয় না।
এই প্যানেলটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটারগুলো দ্বারা চালিত হয়; এগুলো স্বাধীনভাবে নিয়ন্ত্রিত জোনগুলোতে স্থাপিত থাকে। প্রতিটি জোনে ওয়েফারের পৃষ্ঠের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; ফলে তাপীয় নিয়ন্ত্রণ সঠিক থাকে।
কোয়ার্টজ ফেস ও সিলড হাউজিংয়ের কারণে কণা সৃষ্টি হয় না; ফলে ক্লিনরুমের মান ১–১০০ এর মধ্যে থাকে। প্রতি জোন থেকে উৎপাদন হওয়া শক্তি ২০০ ওয়াট থেকে ১.২ কিলোওয়াট পর্যন্ত থাকে; এটা ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ থাকে; ফলে সঠিক ফলাফল পাওয়া যায়।
বাস্তবে, এর ফলে পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়; আর ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো নিয়ন্ত্রণে থাকে। আপনি অপ্রয়োজনীয় কাজ না করেই উৎপাদন বাড়াতে পারেন; আর শক্তি সাশ্রয় হয়, কারণ তাপ শুধুমাত্র প্রয়োজনীয় জায়গায়ই প্রয়োগ হয়।
পরিষ্কার করার পর ওয়েফারটিকে শুকিয়ে রাখতে, ফটোরেজিস্টের গঠনকে অক্ষুণ্ণ রাখতে এবং উৎপাদন প্রক্রিয়াকে চালিয়ে যেতে এই প্যানেলটি অত্যন্ত কার্যকর।
ইনস্টলেশনটি সহজ; কিন্তু প্যানেলটিকে সঠিকভাবে স্থাপন করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। প্যানেলটিকে ওয়েফারের গতি ও এক্সহস্ট জিওমেট্রির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণভাবে স্থাপন করতে হয়; নইলে আবার আর্দ্রতা সৃষ্টি হবে।
এটা স্ট্যান্ডার্ড ইন্টারফেসগুলোর সাথে সংযুক্ত থাকে; কিন্তু এমিটারের তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখতে আলাদা কুলিং সিস্টেম দরকার। এই ব্যবস্থার ফলে প্যানেলটি বারবার সঠিকভাবে কাজ করতে পারে।