ফ্যাব ফ্লোরে, বেকিং প্রক্রিয়াটিই হলো সাফল্য-ব্যর্থতার নির্ধারক। যদি বেকিং প্রক্রিয়াটি ২°C পর্যন্ত ভিন্ন হয়, তাহলে উত্পাদিত ওয়েফারগুলোর গুণমান কমে যায়। আর যদি বেকিং প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে না হয়, তাহলে ওয়েফারগুলোতে সমস্যা দেখা দেয়। অপটিক্যাল হিটারগুলো এই সমস্যাগুলো সমাধান করে; ওয়েফারটিই সেন্সর হিসেবে কাজ করে, ফলে তাপীয় নিয়ন্ত্রণ সঠিকভাবে হয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা এই অপটিক্যাল হিটারগুলো শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (SWIR) সোর্স ও কোয়ার্টজ উইন্ডোগুলো ব্যবহার করে তৈরি করেছি; এগুলো সিলিকন ও ফটোরেসিস্টের তাপ শোষণ ক্ষমতার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। ফলে ওয়েফারের সক্রিয় অঞ্চলে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর লোড থাকাকালীন তাপমাত্রা ±0.5°C এর মধ্যে থাকে। তাপ সরবরাহের হার ১০°C/সেকেন্ড পর্যন্ত হয়; ফলে ওয়েফারের নিচের অংশগুলোতে কোনো চাপ পড়ে না।
ক্লিনরুম-উপযোগী কিনা?
এই হিটারগুলো ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য উপযোগী। আমরা ইন-লাইন মেট্রোলজি ব্যবহার করে নিশ্চিত করি যে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হচ্ছে না। ৫০০ বার প্রক্রিয়া চালানোর পরও তাপমাত্রা ±0.2°C এর মধ্যেই থাকে। এগুলো দিনের পর দিন উচ্চ-পরিমাণে ব্যবহৃত হয়, কোনো অপ্রত্যাশিত ব্যর্থতা নেই।
লিথোগ্রাফি ও বেকিং প্রক্রিয়ার জন্য কেন উপযোগী?
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় দ্রুত, স্থিতিশীল তাপ প্রয়োজন। অপটিক্যাল হিটিং ব্যবহার করলে ওয়েফারটিকেই সরাসরি উত্তপ্ত করা হয়; ফলে চক্র সময় কমে যায়, আর তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সহজ হয়। ফলে CD নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়, পুনরাবৃত্তি কমে যায়, আর অপ্রয়োজনীয় ওয়েফারও কম হয়। কন্টাক্ট হট প্লেটের তুলনায় শক্তি ব্যবহার ৩০% কম হয়; আর কোনো ধরনের ঘর্ষণ না থাকায় কম কনজিউম্যাবল ব্যবহৃত হয়। সফট বেকিং ও হার্ড বেকিং উভয় ক্ষেত্রেই তাপীয় চাপ কম থাকে।
ব্যবহারিক নোটস:
এই হিটারগুলোর জন্য স্থিতিশীল বিদ্যুৎ সরবরাহ ও সঠিক অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট প্রয়োজন। এগুলো ১৫০/২০০/৩০০ মিমি ওয়েফারগুলোর জন্য তৈরি; SECS/GEM প্রোটোকলের মাধ্যমে স্ট্যান্ডার্ড ট্র্যাকগুলোর সাথে সংযুক্ত হয়। ইনস্টলেশনের আগে আপনার টুলের যান্ত্রিক ও প্রোটোকল ইন্টারফেস নিশ্চিত করুন। আপনার নির্দিষ্ট রেসিস্ট স্ট্যাকের জন্য র্যাম্প প্রোফাইল সেট করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত পরীক্ষা করুন। একবার এটা সেট হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে।