保持洁净室清洁：关于加热技术的真相
如果你正在运营100级洁净室，那你应该知道，仅依靠空气过滤器是远远不够的。真正的难题在于：热量源处会释放出各种污染物以及微小颗粒物。这些才是导致问题出现的根本原因。
为了防止污染物附着在晶圆上，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材料。因为这种材料能更有效地发挥作用。
为什么石英如此重要？
普通玻璃或廉价材料在受热时就会开始释放杂质。而我们使用的则是高纯度熔融石英，因为它在极端高温下仍然能够保持稳定，不会发生化学变化。
这些红外灯能够发出短波红外辐射。最棒的是，热量可以直接传递到目标物体上，而不会浪费时间去加热周围的空气。这样一来，就不会有令人讨厌的对流现象，从而避免灰尘被搅动起来。
如何防止“颗粒物污染”
大多数加热元件之所以会失效，都是因为一些小问题——比如连接器或涂层的问题。我们使用精密设计的端子，这样可以避免金属部件因膨胀和收缩而产生碎片。此外，我们对石英外壳进行火焰抛光处理，这样可以消除表面上的孔隙，让颗粒物无法藏身其中。
另外，我们的设计也非常紧凑。这些加热元件的体积很小，因此可以轻松安装到空间有限的区域中，不需要那些庞大笨重的防护装置。部件越少，出现故障的可能性也就越低。
需要注意的要点
不过，高纯度石英虽然清洁，但却很脆弱。千万不要用裸手触碰这些管子。皮肤上的油脂会导致局部过热，从而加速灯管的损坏。请告诉安装人员，他们必须使用无绒手套，并用异丙醇来清洁这些管子。
最后一点：这些灯会在极小的空间内产生大量热量。因此，必须确保冷却系统正常工作。如果气流不足，热量就会导致灯壳变形，进而缩短灯的使用寿命。只要保持适当的冷却效果，这些灯就能长时间正常工作。