Thay thế hệ thống sưởi bằng khí nóng bằng công nghệ tia hồng ngoại trong quy trình xử lý bán dẫn
Hãy cùng tìm hiểu những hạn chế của phương pháp sử dụng khí nóng để làm nóng vật liệu. Phương pháp này rất chậm. Khi chúng ta phải sử dụng khí nóng để truyền nhiệt vào vật liệu, thì về cơ bản chúng ta đang tạo ra một “trung gian” không mang lại hiệu quả gì. Trong các quy trình xử lý phức tạp, sự chậm trễ này gây ra nhiều vấn đề, ảnh hưởng đến toàn bộ quy trình sản xuất.
Chúng tôi đã tìm ra một giải pháp tốt hơn: thay thế các máy thổi khí bằng các thiết bị phát tia hồng ngoại.
Nhược điểm của phương pháp sử dụng khí nóng
Các hệ thống sưởi bằng khí nóng có tính trễ nhiệt cao. Chúng ta phải chờ rất lâu cho đến khi lò đạt được nhiệt độ mong muốn, sau đó lại phải chờ thêm để nhiệt đó thực sự lan tỏa vào vật liệu. Điều này rất phiền phức.
Ngược lại, tia hồng ngoại di chuyển với tốc độ ánh sáng và trực tiếp tác động lên vật liệu cần xử lý. Thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn giảm từ vài phút xuống còn vài giây. Nhờ đó, chúng ta có thể tăng tốc độ xử lý mà không cần dành nhiều diện tích cho hệ thống sưởi.
Tiết kiệm năng lượng
Việc sử dụng khí nóng khiến nhiệt lượng bị thoát ra ngoài qua các khe hở trong thiết bị. Điều này đồng nghĩa với việc chúng ta phải chi trả nhiều năng lượng một cách vô ích. Ngược lại, tia hồng ngoại chỉ tác động vào vùng cần xử lý, giúp tiết kiệm năng lượng.
Kiểm soát dễ dàng hơn
Chúng ta có thể bật/tắt chế độ sưởi và làm mát một cách nhanh chóng. Không còn tình trạng nhiệt độ vượt quá mức mong muốn nữa – điều này có thể phá hủy lớp bán dẫn mỏng manh trong lò sưởi thông thường.
Những hạn chế của công nghệ tia hồng ngoại
Tuy nhiên, công nghệ tia hồng ngoại cũng có những hạn chế. Tia hồng ngoại chỉ có thể tác động vào những vị trí nằm trong tầm nhìn của nó. Nếu các linh kiện có hình dạng kỳ lạ hoặc có những chỗ sâu, thì tia hồng ngoại có thể không thể tác động vào những vị trí đó. Chúng ta cần sử dụng nhiều bóng đèn hoặc các thiết bị phản xạ để đưa năng lượng vào những vị trí đó.
Một điểm nữa là tia hồng ngoại có cường độ cao. Chúng ta cần đảm bảo rằng các cảm biến được calibrate đúng cách để đo nhiệt độ do tia hồng ngoại tạo ra, chứ không chỉ nhiệt độ không khí xung quanh. Nếu không, chúng ta có thể làm hỏng các linh kiện trước khi nhận ra rằng nhiệt độ không khí vẫn còn ổn.