Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, yếu tố quan trọng nhất chính là mức độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ dù chỉ vài phần mười độ C thôi cũng có thể làm sai lệch quá trình khuếch đại hóa chất trong lớp photoresist, gây ra sự thay đổi trong giá trị bias và ảnh hưởng đến khả năng etching của lớp vật liệu. Điều này khiến cho việc chiếu sáng và đo lường trở nên vô ích.
Những điều quan trọng về mặt kỹ thuật: Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt PEB sao cho mức độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C. Nhiệt độ sấy lớp photoresist cũng được duy trì ổn định suốt quá trình sấy. Thiết bị này hoạt động ở chế độ sấy nhẹ hoặc chế độ sấy mạnh, với tốc độ tăng nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ. Nhờ đó, không cần phải lo lắng về sự thay đổi nhiệt độ giữa các lô sản xuất khác nhau.
Các bộ phát tia cực tím loại quartz-halogen giúp tạo ra phản ứng nhanh và chính xác. Hình dạng của khu vực gia nhiệt được thiết kế sao cho đảm bảo sự cân bằng nhiệt độ giữa các vùng khác nhau của wafer. Trong môi trường phòng sạch cấp độ 1–100, chúng tôi sử dụng các vật liệu ít tỏa khí và thiết kế thiết bị sao cho không tạo ra khí bẩn trong quá trình vận hành, nhờ đó số lượng hạt bẩn giữ ở mức cho phép mà không cần thêm bộ lọc.
Thiết bị này được thiết kế để hoạt động 24/7 trong các nhà máy sản xuất với tỷ lệ ngừng hoạt động bất ngờ bằng không. Ngoài ra, mức tiêu thụ năng lượng cũng được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo chi phí sản xuất mỗi wafer ổn định.
Tại sao thiết bị này lại hiệu quả trong môi trường sản xuất thực tế? Bạn cần một bộ gia nhiệt có khả năng hoạt động ổn định vào bất kỳ thời điểm nào trong ngày, dù là lúc 3 giờ sáng hay 3 giờ chiều, bất kể quy trình sản xuất hay kích thước wafer như thế nào. Bộ gia nhiệt PEB giúp kiểm soát chặt chẽ quá trình sấy sau khi chiếu sáng, từ đó đảm bảo rằng các chỉ số liên quan đến chất lượng wafer vẫn nằm trong giới hạn cho phép. Kết quả là giảm thiểu việc phải sản xuất lại wafer, đồng thời giúp kiểm soát chặt chẽ quy trình sản xuất.
Những điều bạn cần biết trước khi sử dụng thiết bị này: Việc lắp đặt thiết bị này đòi hỏi sự tích hợp chặt chẽ với hệ thống kiểm soát nhiệt độ và hệ thống thông gió. Bạn cần tiến hành việc điều chỉnh vị trí và thiết lập chế độ sấy cho từng loại lớp photoresist. Một khi đã thiết lập xong, tính lặp lại của bộ gia nhiệt sẽ giúp giảm thời gian chuẩn bị. Tuy nhiên, việc kiểm tra ban đầu này là điều không thể bỏ qua.