Bảo vệ an toàn: Bộ sưởi hồng ngoại trong quy trình làm sạch hóa chất
Khi làm việc trong các nhà máy sản xuất chip bán dẫn, chúng ta thường phải sử dụng các loại chất lỏng có tính ăn mòn cao. Nếu thêm vào đó bộ sưởi hồng ngoại, thì rõ là nguy cơ xảy ra hỏa hoạn sẽ tăng lên. Chỉ cần một tia lửa điện hoặc tình trạng quá nhiệt thôi cũng đủ gây ra hỏa hoạn rồi.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách đặt bộ sưởi trong một lớp bảo vệ. Chúng tôi cách ly bộ phận phát nhiệt và cảm biến nhiệt độ, để chúng không tiếp xúc trực tiếp với khí độc trong môi trường làm việc.
Bí quyết nằm ở lớp đệm kín
Chúng tôi bọc các bộ sưởi trong các lớp thủy tinh có độ tinh khiết cao, sau đó dùng các miếng đệm gốm kim loại để cố định chúng lại. Đó chính là “bức tường vật lý” ngăn cách ánh sáng từ bộ sưởi với khí độc. Ánh sáng từ bộ sưởi sẽ ở một bên, còn khí độc thì ở bên kia.
Về phần dây dẫn, chúng tôi không chấp nhận bất kỳ rủi ro nào. Chúng tôi sử dụng các lớp vỏ bọc bằng polymer PTFE hoặc PFA. Tại sao ư? Bởi vì các chất tẩy rửa mạnh sẽ nhanh chóng phá hủy các dây dẫn thông thường.
Chúng tôi cũng làm tương tự với cảm biến nhiệt độ. Thay vì để cảm biến nằm ngoài trời, chúng tôi đặt nó trong một lớp vỏ bảo vệ chắc chắn. Sau đó, chúng tôi sử dụng keo epoxy hoặc chất kín bằng thủy tinh để bảo vệ các điểm kết nối. Như vậy, sẽ không có sự rò rỉ nào xảy ra, và khí độc cũng không thể xâm nhập vào bộ phận điện tử. Rất đơn giản.
Kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác
Bí quyết thực sự nằm ở hệ thống phản hồi. Chúng tôi đặt cảm biến nhiệt độ ngay sát bên lớp thủy tinh hoặc bộ phận phát nhiệt. Điều này giúp loại bỏ hiện tượng trễ nhiệt – tình trạng mà cảm biến không nhận ra rằng bộ sưởi đã quá nóng. Nhờ vậy, bộ điều khiển PID có thể phát hiện ra sự gia tăng nhiệt độ trước khi nhiệt độ vượt qua ngưỡng nguy hiểm của các chất hóa học. Đó chính là yếu tố giúp đảm bảo an toàn.
Nhưng cũng có một nhược điểm: lớp bảo vệ dày sẽ khiến bộ sưởi mất thời gian để nóng lên. Nó sẽ mất nhiều thời gian hơn so với bộ sưởi được đặt ngoài trời. Hãy chắc chắn rằng nguồn điện cung cấp có thể đáp ứng được áp lực điện trong giai đoạn này.
Thiết lập và duy trì hoạt động
Chúng tôi thiết kế các bộ sưởi này sao cho có thể thay thế ngay lập tức. Chúng tôi chỉ giao hàng sau khi kiểm tra kỹ lưỡng mọi lớp đệm kín. Nếu có lớp đệm nào bị hỏng, thì tính năng “chống nổ” của bộ sưởi sẽ không còn nữa.
Sau khi lắp đặt xong, hãy kiểm tra thường xuyên các lớp thủy tinh để phát hiện các vết nứt. Đó là thói quen nhỏ nhưng rất quan trọng, giúp đảm bảo rằng các yếu tố an toàn vẫn được duy trì.