Kiểm soát nhiệt độ trong môi trường chân không
Khi sản xuất bán dẫn, điều cuối cùng mà chúng ta muốn chính là để những hạt vụn gây hại ảnh hưởng đến tấm wafer. Nhưng chúng ta vẫn cần nhiệt lượng lớn để xử lý các bước sản xuất. Đó chính là lý do tại sao các loại bộ sưởi bằng tia hồng ngoại phù hợp với môi trường chân không được sử dụng. Thay vì dùng không khí hoặc khí để truyền nhiệt (điều này không thể thực hiện được trong môi trường chân không), các bộ sưởi này truyền năng lượng trực tiếp vào tấm wafer.
Điều này giúp việc truyền nhiệt diễn ra một cách hiệu quả và trực tiếp.
Vấn đề liên quan đến mật độ công suất
Trong môi trường chân không, tia hồng ngoại là phương tiện duy nhất để truyền nhiệt. Chúng ta thiết kế các bộ sưởi này sao cho chúng có thể truyền nhiệt một cách mạnh mẽ và nhanh chóng.
Nếu bạn vẫn sử dụng các bộ sưởi truyền thống, bạn có lẽ đang lãng phí rất nhiều năng lượng chỉ để làm nóng các bức tường của buồng sản xuất. Điều này giống như việc cố gắng làm nóng cả ngôi nhà chỉ để giữ ấm một cốc cà phê. Tia hồng ngoại ngắn sóng giúp giải quyết vấn đề này. Bạn chỉ cần tập trung truyền nhiệt vào tấm wafer, chứ không phải vào toàn bộ máy móc.
Kết quả là thời gian cần thiết để làm nóng tấm wafer giảm đi, và chi phí điện năng cũng giảm theo. Đây là cách đơn giản để làm cho môi trường sản xuất trở nên “xanh” hơn, mà không làm khó khăn cho người vận hành.
Vật liệu cũng rất quan trọng
Bạn không thể đơn giản sử dụng bất kỳ loại đèn nào trong môi trường chân không. Nếu sử dụng thủy tinh thông thường, đèn sẽ bị vỡ hoặc gây ra hiện tượng rò rỉ hóa chất vào môi trường xung quanh. Điều này sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến chất lượng sản phẩm.
Chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao để chế tạo các bộ sưởi này, vì chúng có khả năng chịu được áp lực cao. Chúng tôi cũng rất chú ý đến các bộ phận kín và điện cực. Nếu các bộ phận kín bị rò rỉ, môi trường chân không sẽ bị phá vỡ. Nếu có một hạt vụn nào thoát ra, tấm wafer sẽ bị hỏng. Chúng tôi không dám mạo hiểm như vậy.
Nhược điểm
Tuy nhiên, có một nhược điểm: Khi truyền một lượng công suất lớn vào các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại, phần vỏ máy xung quanh sẽ bị ảnh hưởng nặng nề.
Tấm wafer sẽ nóng lên nhanh chóng, nhưng nhiệt lượng phản xạ lại cần phải được xử lý. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt này, quá trình sản xuất sẽ bị ảnh hưởng. Điều này rất phiền phức và khó điều chỉnh. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát được thiết kế phù hợp ngay từ đầu.
Tin tốt là chúng tôi đã thiết kế các bộ sưởi này sao cho chúng có thể thay thế dễ dàng các bộ sưởi cũ. Bạn có thể thay thế chúng mà không cần phải tháo rời toàn bộ hệ thống sản xuất của mình.