300 ملی میٹر لائن پر، صفائی کے بعد باقی رہنے والی پتلی پانی کی تہہ، پروڈکشن کے عمل کو نقصان پہنچاتی ہے۔ باقی رہنے والی نمی، فوٹوریزسٹ کی ساخت کو خراب کر دیتی ہے، اور غیر یکساں خشک ہونے کی وجہ سے ذرات پیدا ہوتے ہیں۔
اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے، ہم نے “زونڈ ویفر ڈرائنگ انفراریڈ پینل” تیار کیا؛ اس میں وسیع بیم والی حرارت کی جگہ کنٹرول شدہ، مقامی حرارت استعمال کی گئی، تاکہ ویفر خشک ہو سکے بغیر اس کی سطح پر کوئی نقصان نہ پہنچے۔
یہ پینل، مختلف زونوں میں نصب کیے گئے شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز کے ذریعہ کام کرتا ہے۔ ہر زون میں ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے، تاکہ حرارت کا استعمال منظم رہے۔
کوارٹز سے بنی سطح اور محفوظ ہولڈنگ کی وجہ سے، ذرات کی پیداوار صفر رہتی ہے، جس سے کلین روم کی سطح 1-100 کے درمیان رہتی ہے۔ ہر زون سے حاصل ہونے والی طاقت 200 واٹ سے 1.2 کلوواٹ تک ہے، اور یہ پینل 24/7 بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔
درجہ حرارت کنٹرول، فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ کے لئے بہت اہم ہے؛ اس سے یکساں خشک ہونے کا عمل ممکن ہوتا ہے، اور کوئی غلطی نہیں ہوتی۔
عملی طور پر، اس کا مطلب یہ ہے کہ ورک کو دوبارہ کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور کریٹیکل ڈائمینشنز کا کنٹرول بہتر ہو جاتا ہے۔ آپ زیادہ پروڈکشن حاصل کر سکتے ہیں، بغیر ردِعمل کا سامنا کیے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ حرارت صرف اسی جگہ لگائی جاتی ہے جہاں اس کی ضرورت ہے۔
صفائی کے بعد ویفر کو خشک رکھنے، فوٹوریزسٹ کی ساخت کو برقرار رکھنے، اور پروسیسنگ کو جاری رکھنے کے لئے، یہ پینل بہت مفید ہے۔
اس کی تنصیب بہت آسان ہے، لیکن اس کی درست جگہ پر نصب کرنا بہت اہم ہے۔ پینل کو ویفر کے راستے اور ایگزاسٹ جیومیٹری کے مطابق ہی نصب کرنا ضروری ہے، ورنہ نمی پھر سے پیدا ہو جائے گی۔
یہ پینل معیاری انٹرفیسز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن ایمیٹر کے درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کے لئے الگ کولنگ سسٹم کی ضرورت ہے۔ اس طرح، پینل ہر شفٹ میں یکساں کارکردگی دے سکتا ہے۔