ٹھنڈک کے استعمال سے متعلق، “تھرمل بجٹ” کوئی تجویز نہیں ہے؛ بلکہ یہ وہ حد ہے جسے عبور نہیں کیا جاسکتا۔ فوٹو ریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران اگر کوئی غلطی ہو جائے، تو سی ڈی کی یکسانیت ختم ہو جاتی ہے۔ ویفر کو خشک کرنے کے دوران اگر کوئی سرد جگہ پیدا ہو جائے، تو پھر سے مشکلات پیدا ہو جاتی ہیں۔ ہم نے اس صورتحال کو دیکھتے ہوئے ٹچ-پینل باؤنڈنگ انفراریڈ لیمپ تیار کیا ہے؛ تاکہ درست جگہ پر مستحکم اور مرکوز حرارت فراہم کی جاسکے۔
جو چیزیں اہم ہیں
ہم کوارٹز ماڈیول میں شارٹ-ویو NIR ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں؛ تاکہ ردِعمل تیز ہو اور سبسٹریٹ پر کوئی بوجھ نہ پڑے۔ باؤنڈنگ زون میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور ہر بیچ میں اس کی درستگی برقرار رہتی ہے۔ یہ ڈیوائس کلین روم کے مطابق ہے – کلاس 1-100 کے مطابق – اور اس سے کوئی ذرات خارج نہیں ہوتے۔ یہ 24/7 استعمال کے لئے مناسب ہے؛ فیلڈ یونٹس نے 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کام کیا ہے، اور اس دوران پیداوار میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوئی ہے۔
یہ ہمارے کام کے لئے کیوں مناسب ہے
ویفر کو خشک کرنے اور صاف کرنے کے دوران، یہ لیمپ تیزی سے نمی کو دور کرتا ہے، بغیر پیٹرن کو زیادہ گرم کیے۔ فوٹو ریزسٹ کے لئے، یہ یکساں حرارت فراہم کرتا ہے؛ تاکہ اوورلے اور لائن ویڈتھ کنٹرول میں رہے۔ پیکیجنگ کے دوران، یہ انکیپسولنٹس اور چسپانوں کو مستحکم طریقے سے خشک کرتا ہے؛ اس طرح دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ اور چونکہ حرارت صرف ضرورت کے وقت ہی فراہم کی جاتی ہے، اس لئے توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے۔
جن تفصیلات پر توجہ دینے کی ضرورت ہے
انسٹالیشن کے لئے الگ پاور بس کی ضرورت ہے، اور یہ ڈیوائس صحیح جگہ پر ہی نصب کی جانی چاہیے تاکہ فوکل ڈسٹنس درست رہے۔ یہ لیمپ سطحی، عکاس سطحوں پر بہترین کارکردگی دکھاتا ہے؛ اگر سطح ٹیکسچرڈ یا زیادہ جذب کرنے والی ہو، تو تھوڑی زیادہ پاور کی ضرورت ہوتی ہے۔ ہم نے ایک قسم کا کنکٹر بھی فراہم کیا ہے، اور ایک کیلیبریشن روٹین بھی، جس کے ذریعہ انٹینسیت اور وقت کو منٹوں میں ہی سیٹ کیا جاسکتا ہے؛ اس طرح دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہیں رہتی۔