На лінії довжиною 300 мм тонкий шар води, який залишається після чищення, може знизити ефективність процесу. Залишкова волога порушує структуру фотопрезисту, а нерівномірне висихання є причиною утворення частинок. Щоб уникнути цього, ми створили інфрачервоний панель для сушіння пластин, яка замінює широкосмугове випромінювання на контрольоване, локалізоване тепло, що дозволяє сушити пластину без пошкодження її поверхні. Панель працює за рахунок короткочастотного інфрачервоного випромінювання, яке розподіляється у окремих зонах. Кожна зона забезпечує однакову температуру на всій поверхні пластини всередині меж ±0,1°C, що дозволяє підтримувати стабільні умови для сушіння. Кварцова поверхня та герметичний корпус запобігають утворенню частинок, що дозволяє підтримувати рівень чистоти від класу 1 до 100. Потужність кожної зони коливається від 200 Вт до 1,2 кВт; панель розроблена для безперервної роботи протягом 24/7 без зупинок. Контроль температури забезпечує стабільні умови для процесу сушіння – без перевищення температурних значень. На практиці це означає менше необхідності повторної обробки та кращий контроль критичних розмірів. Можна підвищити продуктивність без необхідності викидання бракованих продуктів, а також скоротити споживання енергії, оскільки тепло надається лише там, де це необхідно. Для сушіння пластин після чищення та обробки фотопрезисту панель забезпечує сухість пластини, зберігає правильну структуру фотопрезисту та дозволяє продовжувати процес виробництва. Встановлення панелі є простим, але важливо правильно її розташувати відповідно до траєкторії руху пластини та конструкції системи відведення пари. Інтеграція панелі зі стандартними інтерфейсами є можливою, але для підтримки стабільної температури емітера потрібна окрема система охолодження. Якщо все буде зроблено правильно, панель забезпечить стабільну роботу протягом усього часу.