Ефективне нагрівання в вакуумі
Під час виробництва напівпровідників останнє, чого ви хочете, – це щоб якась стороння частинка пошкодила пластину. Але все одно потрібен тепло – і багато його. Саме тут на допомогу приходять інфрачервоні нагрівачі, сумісні з умовами вакууму. Замість того, щоб покладатися на повітря чи газ для передачі тепла (що взагалі не можливо у вакуумі), ці нагрівачі передають випромінювальну енергію прямо на саму пластину.
Це ефективно та просто.
Проблема щільності потужності
У вакуумі єдиним способом передачі тепла є випромінювання. Ми розробляємо такі нагрівачі, щоб вони могли швидко та ефективно нагрівати пластину.
Якщо ви все ще використовуєте традиційні резистивні нагрівачі, ви, ймовірно, марнуєте безліч енергії на нагрівання стінок камери. Це все одно, що намагатися нагріти всю квартиру лише для того, щоб тримати теплою одну чашку кави. Короткохвильове інфрачервоне випромінювання змінює ситуацію – воно нагріває саме пластину, а не всю машину.
Результат? Час нагрівання скорочується, а рахунки за електроенергію також. Це простий спосіб зробити процес виробництва більш екологічним, не ускладнюючи життя операторам.
Матеріали також мають значення
Не можна просто кинути будь-яку лампу в вакуум. Якщо використовувати звичайне скло, воно може тріснути або почати виділяти хімікати, що буде загрозою для якості продукції. Ми використовуємо високочистий синтетичний кварц для корпусу нагрівача – він може витримати високі навантаження. Ми також обережно підходимо до вибору ущільнювачів та електродів. Якщо ущільнювач протікає, вакуум зникає. Якщо з нього вилетить навіть одна частинка, пластина стає непридатною до використання. Ми не готові ризикувати.
Компроміси
Однак є один недолік: коли ви подаєте велику кількість енергії в інфрачервоний нагрівач, сам корпус машини також піддається навантаженню. Пластина швидко нагрівається, але відбите тепло потрібно десь спрямувати. Якщо система охолодження недостатньо потужна, процес виробництва буде порушуватися. Це дратує та ускладнює калібрування. Потрібно з самого початку правильно підібрати розміри системи охолодження.
Хороша новина полягає у тому, що ці нагрівачі призначені для заміни старих моделей. Ви можете замінити старі нагрівачі, покращити параметри процесу та уникнути марнування енергії – все це без необхідності ремонту всієї лінії виробництва.