Yarı iletken işlemlerinde sıcak hava yerine kızılötesi ışınların kullanılması
Zorla hareket ettirilen hava ile ilgili sorunlardan bahsedelim. Bu yöntem oldukça yavaştır. Havanın ısınmasına bağlı olarak ısıyı waferlere aktarmaya çalışmak, aslında pek bir işe yaramayan bir aracının kullanılması anlamına gelir. Derin işlemlerde bu gecikme ciddi bir sorundur; tüm üretim sürecini yavaşlatır.
Daha iyi bir çözüm bulduk: Bu üfleyicilerin yerine kısa dalga boylu kızılötesi ışın vericileri kullanıyoruz.
Beklemenin dezavantajları
Sıcak hava sistemlerinin çok fazla “termal ataleti” vardır. Fırının doğru sıcaklığa ulaşmasını beklemek uzun sürer; ardından da o ısının malzemeye nüfuz etmesini beklemek gerekiyor. Bu durum oldukça sinir bozucudur.
Kızılötesi ışınlar ise farklıdır. Işınlar ışık hızında hareket eder ve doğrudan hedefe ulaşır. Böylece ısınma süresi dakikalardan saniyelere düşer. Böylece daha fazla üretim yapılabilir ve daha fazla alan gerekliliği ortadan kalkar.
Enerji tasarrufu
Hava dolaşımı oldukça karmaşıktır. Enerjinin büyük bir kısmı sızdıran yapılar ve kanallar yüzünden boşa harcanır. Bu da aslında boşa harcanan enerji demektir.
Kızılötesi ısılar ise hedefe yönlendirilebilir. Enerji tam da ihtiyaç duyulan yere gönderilir. Bu sayede tesisin enerji tüketimi önemli ölçüde azalır.
Ayrıca kontrol de daha kolaydır. Isıtma ve soğutma işlemleri anında başlatılıp durdurulabilir. Artık sıcaklık hedeflerinin aşılması gibi sorunlar olmaz. Herkesin bildiği gibi bu durum, konveksiyon fırınlarında hassas yarı iletken katmanların zarar görmesine neden olan en hızlı yoludur.
Dezavantajlar
Ancak bu bir sihir değildir. Kızılötesi ışınlar yalnızca görüş hattındaki alanlara etki eder. Eğer parçaların şekilleri garipse veya derin çukurları varsa, ışınlar bazı bölgelere ulaşamayabilir. Isıyı bir köşeye “üfleyemezsiniz”. Bu durumda çoklu lamba dizileri veya yansıtıcılar kullanarak enerjinin bu bölgelere ulaşmasını sağlamak gerekir.
Bir diğer nokta ise kızılötesi ışınların yoğun olmasıdır. Sensörlerinizin sadece çevre sıcaklığına değil, radyatif ısıya da duyarlı olmasını sağlamalısınız. Aksi takdirde, havanın hâlâ soğuk olduğunu fark etmeden yüzeylerin yanmasına neden olursunuz.