Vakum Ortamında Doğru Isı Uygulaması
Yarı iletkenler üretirken en son isteyeceğiniz şey, yabancı parçacıkların wafere zarar vermesidir. Ancak yine de ısıya ihtiyaç vardır – ve bol miktarda. İşte bu noktada vakuma uyumlu IR ısıtıcılar devreye girer. Havadan veya gazlardan yararlanarak ısıyı iletmek yerine, bu ısıtıcılar radyant enerjiyi doğrudan yüzeye yönlendirir.
Bu yöntem temiz ve etkilidir.
Güç yoğunluğunun önemi
Vakum ortamında radyasyon tek çözümdür. Biz de bu ısıtıcıları hızlı ve etkili bir şekilde ısı verebilecek şekilde tasarlıyoruz. Eğer hâlâ geleneksel dirençli ısıtıcıları kullanıyorsanız, muhtemelen odanın duvarlarını ısıtmak için çok fazla enerji harcıyorsunuz demektir. Bu, sadece bir fincan kahvenin sıcak kalmasını sağlamak için tüm evi ısıtmaya çalışmak gibidir. Kısa dalga boyundaki IR ışınları bu durumu değiştirir; ısıyı makinenin kendisine değil, doğrudan wafere yönlendirirsiniz.
Sonuç olarak, işlem süreleri azalır ve elektrik faturası da düşer. Bu, operatörlerin işini zorlaştırmadan temiz oda koşullarını iyileştirmenin basit bir yoludur.
Kullanılan malzemelerin önemi
Herhangi bir lambayı vakuma sokamazsınız. Eğer standart cam kullanırsanız, ya çatlar ya da kimyasallar ortama sızar. Bu da verimliliğiniz açısından büyük bir sorundur. Bu yüzden kaplamalar için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Sızdırmazlık elemanları ve elektrotlar konusunda da aynı derecede titiziz. Eğer sızdırmazlık elemanları işlevsiz hale gelirse, vakum ortamı bozulur. Eğer küçük bir parçacık bile wafere bulaşırsa, wafer kullanılamaz hale gelir. Böyle riskleri göze alamayız.
Tercihler arasındaki denge
İşte burada bir sorun var: IR ısıtıcılara bu kadar yüksek güç uygulandığında, çevredeki yapılar zarar görür. Wafeer hızla ısınır, ancak yansıyan ısıya bir yer bulunmalıdır. Eğer soğutma sistemi bu yansıyan ısıyı kontrol edebilecek kadar güçlü değilse, işlem parametreleri bozulur. Bu durum sinir bozucu ve ayarlaması zordur. Bu yüzden soğutma sisteminin baştan doğru şekilde tasarlanması gerekmektedir.
İyi haber ise, bu ısıtıcıların mevcut ısıtıcıların yerine geçebilecek şekilde tasarlanmış olmasıdır. Mevcut ısıtıcıları değiştirebilir, termal performansı artırabilir ve enerji israfını durdurabilirsiniz – tüm bunları üretim hatlarınızı bozmadan yapabilirsiniz.