На производственной линии именно на этапе нагрева определяется качество готового изделия. Если температура нагрева отклоняется на 2°C, то критические размеры детали начинают изменяться на уровне нанометров. А если нагрев происходит неравномерно, это приводит к проблемам с адгезией слоев и другим недостаткам. Оптические нагреватели решают эти проблемы, обеспечивая точный контроль температуры; сама пластина служит датчиком для измерения температуры.
Что важно при использовании таких нагревателей: Мы разработали эти оптические нагреватели с использованием источников коротковолнового инфракрасного излучения и кварцевых стекол, что позволяет достичь равномерности нагрева на уровне ±0,1°C по всей активной поверхности платы. Стабильность температуры при нагрузке составляет более ±0,5°C. Скорость нагрева может достигать 10°C/секунду, что позволяет сократить время нагрева без лишнего нагрузки на слои на плате.
Платформа подходит для использования в чистых помещениях класса от 1 до 100. Мы также проверяем отсутствие частиц с помощью специальных измерительных устройств. Повторяемость результатов измерений составляет менее 0,2°C за 500 циклов. Модули могут работать без перерывов в течение долгого времени.
Почему это подходит для литографии и обработки фотопленки: В процессах литографии и обработки фотопленки необходимо, чтобы тепло достигало поверхности платы быстро, оставаясь стабильным, и не оставляло после себя никаких следов. Благодаря оптическому нагреву пластина нагревается напрямую, а не вся камера. Это сокращает время обработки и устраняет проблемы с перегревом.
Результатом является более точный контроль размеров деталей, меньшее количество необходимости переработки продукции и меньше отходов. Расход энергии снижается на 30% по сравнению с использованием обычных нагревательных плат. Также снижается количество расходуемых материалов, поскольку нет износа из-за контакта с поверхностью платы. Как при мягком, так и при жестком нагреве можно добиться более широкого диапазона процессных параметров без дополнительных нагрузок на пластину.
Практические замечания: Для правильной работы нагревателей необходима стабильная подача энергии и точная оптическая настройка. Нагреватели предназначены для использования с платами размером 150/200/300 мм. Они можно интегрировать со стандартными устройствами с помощью протоколов SECS/GEM. Перед установкой необходимо убедиться, что ваше оборудование соответствует требованиям к механической интеграции и протоколам связи.
Необходимо провести короткий тестовый запуск, чтобы настроить параметры нагрева для конкретного типа фотопленки. После этого процесс будет работать стабильно.