На этапе литографии именно однородность температуры в области PEB на всей площадиWafer определяет качество контроля коэффициента зернистости и правильности расположения элементов на поверхности Wafer. Даже небольшие отклонения в несколько десятых градуса могут нарушить процесс химического усиления действия фотополимера, изменить значения напряжений и снизить эффективность процесса травления. В результате приходится тратить часы на процедуры экспозиции и измерений впустую.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы стремимся обеспечить однородность температуры в области PEB на уровне ±0,1°C. Температура нагрева фотополимера также должна оставаться на заданном уровне на протяжении всего времени обработки. Платформа позволяет использовать как мягкий, так и интенсивный режим нагрева; скорость изменения температуры контролируется, чтобы избежать отклонений между разными партиями продукции.
Кварцево-галогенные излучатели обеспечивают быстрый и стабильный ответ от системы нагрева. Геометрия зоны нагрева регулируется так, чтобы сохранять одинаковое распределение температуры по всей поверхности Wafer. В чистых комнатах класса 1–100 мы используем материалы с низким содержанием выделений, что позволяет избежать образования частиц во время работы оборудования. Это позволяет поддерживать уровень частиц в пределах допустимых значений без необходимости дополнительной фильтрации.
Оборудование предназначено для работы 24/7 в несколько смен, без перерывов. Энергоэффективность оборудования позволяет сохранять стабильную стоимость обработки каждого Wafer.
Почему это оборудование подходит для реальных производственных условий Необходимо, чтобы процесс нагрева происходил одинаково как в 3 часа ночи, так и в 3 часа дня, независимо от условий производства и размера Wafer. Оборудование PEB обеспечивает стабильность процесса нагрева после экспозиции, что позволяет сохранять контроль за коэффициентом зернистости и правильным расположением элементов на поверхности Wafer. Это сокращает количество необходимых корректировок и позволяет планировать время выполнения процесса.
Что необходимо знать заранее Установка оборудования требует тщательной интеграции с системами теплообмена и вентиляции. Необходимо провести калибровку оборудования для каждого типа фотополимера. После этого повторяемость результатов обработки повышается, что сокращает время на настройку оборудования. Однако такая калибровка является обязательной.