Pada garis 300 mm, lapisan air yang masih melekat pada permukaan wafer selepas proses pembersihan akan merosakkan kualiti wafer tersebut. Kelembapan...

Dalam proses pengeluaran, had suhu yang dibenarkan bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan batasan yang tidak boleh dilanggar. Sebarang...